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仪器简介:
手动探针台针对不同应用,推出:晶圆探针台(Wafer Probe Station)、射频探针台(RF Probe Station)、LCD/OLED大尺寸平板探针台(LCD/OLED Probe Station)、激光二极管/光电二极管探针台(LD/PD Probe Station)、表面电阻探针台、霍尔效应探针台、PCB检测台、Mask检测台、激光修补台、高温探针台、低温探针台等等型号设备。
手动探针台广泛用于半导体、微电子的科研和开发。
1、载物台(卡盘)尺寸: 4/6/8英寸可选; 2、载物台(卡盘)X,Y方向移动:100x100mm; 3、载物台(卡盘)转动Theta: 0~360度; 4、卡盘Z向粗调:40mm,控制杆调节; 5、卡盘Z向微调:20mm,手动螺旋调节; 6、显微镜台移动(X,Y): 50x50mm; 7、针座移动范围(X-Y-Z):10x10x10mm; 8、针座精度: 5um/pitch; 9、漏电流低于300fA; 10、真空泵:7L/Min, -250mmHg; 11、尺寸:780mmx660mmx700mm; 12、重量:30Kg;
探针台可配附件: - 低电流、低电容探针/电缆; - RF探针、电缆; - 高分辨长工作距离显微镜; - 变温热台(RT~300度); - 低温样品台(80K-600K); - 真空腔体; - 数字CCD相机(拍照、摄像); - 防震台(Anti-Vibration Table); - 黑箱(Black Box)...
1、同轴驱动台面 2、RF射频探针升级 3、显微镜20~4000倍的放大 4、后座自由移动 5、载物台快速升降 6、卡盘真空吸附,晶圆取放方便; 7、卡盘上下精细调节 8、卡盘绝缘设计; 9、探针卡超速运动调节 详细的资料请联系该产品总代理商——科睿公司(www.cross-tech.com.cn)。
探针台,EPS1000/EPS500
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