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样品台移动范围 | XY:20mm*20mm;Z:22mm | 样品尺寸 | 50mm*50mm,最多厚20mm |
定位检测噪声 | <0.03nm(标准值:0.02nm) |
Park NX10为您带来高精纳米级分辨率的数据,值得您信赖、使用和拥有。无论是从样品设定还是到全扫描成像、测量与分析,Park NX10都可以在保证您专注于创新研究工作的同时提供高精度的数据。
Park NX10为您带来最高纳米级分辨率的数据,值得您信赖。它是全球唯一一个真正非接触式原子力显微镜,在延长探针使用寿命的同时,还能良好地保护您的样品不受针尖损坏。独立的XY扫描器平板扫描器和Z扫描器可带来无与伦比的精确度和分辨率。
扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌
台阶高度0.3 nm,扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌
扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌
扫描模式:非接触模式,Z轴位置传感器的形貌
NX平台的核心先进技术
业界无可比拟的超低噪声
默认的形貌信号
Z轴探测器是全新NX系列原子力显微镜的核心技术之一。它是Park独创的新型应变传感器。凭借着0.2埃的超低噪声一跃成为行业内噪声最低的Z轴探测器。超低噪声让Z轴探测器可作为默认的形貌信号,全新的NX系列原子力显微镜与前几代的原子力显微镜的差异可轻易被观察到。如果Z轴探测器的噪声过高,用户是无法观察到蓝宝石晶片的原子台阶的。Park NX系列原子力显微镜的Z轴探测器所发出的高度信号,其噪声水平与Z轴电压形貌相同。
Park NX Z轴探测器的噪声水平
NX10所探测的蓝宝石晶片形貌
aPark XE Z轴探测器的噪声水平
aXE-100所探测的蓝宝石晶片形貌a
针尖磨损更低=高分率扫描更长久
无损式探针-样品接触=样品受损最小化
可满足各种条件下对各种样品进行非接触式扫描
针尖磨损更快=模糊,低分辨率扫描
破坏性的探针-样品接触=样品易受损
参数高依赖性
独有的设计能让您轻易地用手从侧面更换新的探针和样品。借助安装悬臂式探针夹头中预先对齐的悬臂,无需再进行繁杂的激光校准工作。
自动的探针样品进针功能能让用户无需进行干预操作。通过监测悬臂接近表面的反应,Park NX10能够在悬臂装载后十秒内开始并自动快速完成探针样品进针操作。高速Z轴扫描器的快速信息反馈和NX电子控制器的低噪声信号处理使得无需用户干预就能快速接触样品表面。
凭借我们先进的预校准悬臂架,悬臂在装载时SLD光便已聚焦完毕。此外,作为行内唯一一家可以提供自上而下的同轴视角可以让您轻松找到光点。由于SLD光垂直照在悬臂上,您可通过旋转两个定位按钮直观地在X轴Y轴移动光点。这样您可以在激光准直页面中轻易找到SLD光并将其定位在PSPD上。此时您只需要稍微调整到最大化信号,便可开始获取数据。
柔性引导高推动力扫描器
扫描范围: 15 µm (可选30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, 0.5 kHz带宽)
闭环控制的柔性引导XY扫描器
扫描范围: 50 µm × 50 µm
(可选10 µm × 10 µm 或 100 µm × 100 µm)
Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 20 mm x 20 mm (Motorized)
样品尺寸: 最大开放空间为100 mm x 100 mm,厚度最大值为20 mm
样品重量 : < 500 g
10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 480 × 360 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)
AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制
AFM数据分析软件
4通道数字锁相放大器
弹性系数校准(热方法,可选)
数据Q控制
20个嵌入式输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP,调制和交流偏压
真正非接触式原子力显微镜
PinPoint™ 原子力显微镜
接触式原子力显微镜
横向力显微镜 (LFM)
相位成像
轻敲式原子力显微镜
力-距离(F/d)光谱
力谱成像
静电力显微镜(EFM)
动态接触式静电力显微镜(EFM-DC)
压电力显微镜(PFM)
高压压电力显微镜*
力调制显微镜(FMM)
纳米压痕*
纳米刻蚀*
高压纳米刻蚀*
纳米操纵*
磁力显微镜(MFM)
可调制磁力显微镜
导电原子力显微镜(C-AFM)*
IV谱线*
扫描开尔文探针显微镜(KPFM)
扫描电容显微镜(SCM)*
扫描电阻显微镜(SSRM)*
扫描隧道显微镜(STM)*
光电流测绘 (PCM)*
功能化探针的化学力显微镜
电化学显微镜(EC-AFM)
温控台 1
-25 °C to +170 °C
温控台 2
Ambient to +250 °C
温控台 3
Ambient to +600 °C
通用液体池
有液体/气体灌注的开放式或封闭式液体池
控温范围: 0 °C to +110 °C (in air), 4 °C to +70 °C (with liquid)
电化学池
开放式液体池
专为在一般液体环境中成像而设计
对大多数包括酸在内的缓冲溶液具有抗腐蚀性
可在液体中进行接触式和非接触式原子力显微镜成像
施加平行于样品表面的外部磁场
可调磁场
Range : -300 ~ 300 gauss
由纯铁芯和两个电磁线圈组成
帕克 NX10 原子力显微镜 半导体研究,Park NX10
帕克 NX10 原子力显微镜 半导体研究信息由Park帕克原子力显微镜为您提供,如您想了解更多关于帕克 NX10 原子力显微镜 半导体研究报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
为广大用户量身定做AFM易于修改的模块化设计,可提供多种选项为用户自定义AFM以满足用户的个性化需求。通过使用Park量身定做的AFM可大大提高工作效率,节省不必要的时间。
在当前测量操作中实现最佳的分辨率与灵敏度PinPoint™导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。XY轴扫描仪停动的同时测量电流,接触时间由用户控制。PinPoint™导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率,且不受 侧向力的影响,同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。
在保证样品完整性的同时,持续的提供高分辨率与高精度的数据。真正非接触模式可以保持探针锐利以及样品表面不受到破坏,从而提供更为精确的结果。在真正非接触模式下,压电调制器按照接近于悬臂共振频率的固定频率,使悬臂产生小幅度振动。在针尖接近样品的过程中,针尖与样品之间的范德瓦耳斯力使悬臂振动的振幅与相位也随之一同变化。Park原子力显微镜的Z轴伺服回应系统(已获专利)监测这一变化,将针尖与表面间的距离维持在纳米水平,使样品表面或探针尖端不受损伤。.
随着原子力显微镜(AFM)的问世,纳米尺度上的特性研究得以更深入地开展,接触式和非接触式的原子力显微镜测量方法对材料的表面特性研究起到了至关重要的作用。而原子力显微镜探针与样品表面之间的相互作用力,是测量样品形貌与其他特性的最重要因素。但是,大多数的原子力显微镜测量样品表面时,探针与样品表面之间可能同时会发生静电效应,这种静电力会阻碍原子力显微镜的精确测量,妨碍其对材料特性的准确表征。因此量化与消除静电效应对原子力显微镜测量的影响极其重要。
近期,Park公司收到了一组激动人心的好消息:深圳大学的周学昌教授团队利用Park NX-10 AFM,在材料科学研究方面取得突破性进展。众所周知,软电子学正朝着从医疗监测到医疗植入的应用领域发展。然而,较差的粘附强度和显著的机械失配不可避免地会导致器件界面失效。因此,设计和开发新型性能优异的自粘附导电聚合物材料至关重要。Park NX-10AFM则在此项科研中起到了举足轻重的作用。
扫描电化学显微镜能够能够同时实现样本被研究表面局部形貌和电化学信息获取,扫描探针与样本通过半月形微液滴接触,对样本形貌无损伤,无需脱水,固化、金属喷涂等复杂的预处理。还可以通过移液管向材料表面进行定量物质传送,因此SECCM在纳米材料沉积、电化学微传感器和电催化等方面有广泛的应用前景。
Park的串扰消除技术不仅改善了扫描器弓形弯曲的缺点,还能够在不同扫描位置,扫描速率和扫描尺寸条件 下进行平直正交XY轴扫描。即使最平坦的样品也不会出现如光学平面,各种偏移扫描等曲率的背景。由此为顾 客在研究中遇到的所有极具挑战性的问题提供高精度的纳米测量。
原子力显微镜可以方便的测量导电、非导电,甚至一些液体样品也无需精密的样品制备,与TEM或SEM所需的广泛制备技术相比,这是一个显著的优势。在此份200多页的Park NX10操作手册里面详细介绍了Park NX10原子力显微镜,请下载资料参考。
导电原子力显微镜(C-AFM)是一种非常有用的扫描探针显微镜(SPA)纳米表征技术,它不仅可以对样品的形貌进行表征,更重要的是可以探测许多介质材料和电子器件的局部电学性质。C-AFM技术已经成功表征了介质薄膜的许多重要的纳米级现象,比如:局部缺陷、电荷捕获和释放、应力诱导漏电流、负偏置温度不稳定性等。 目前,随着电子器件尺寸和介电材料厚度的不断缩减,纳米级电学性质表征技术手段的应用和发展变得日益重要。本讲座首先简要介绍C-AFM技术的发展历程
SILICON SEMICONDUCTOR I 高真空对于电扫描探针显微镜的优势高真空对于电扫描探针显微镜的优势Advantages Of High Vacuum For Electrical Scanning Prob
无扫描器弓形弯曲的平直正交XY轴扫描 Park的串扰消除技术不仅改善了扫描器弓形弯曲的缺点,还能够在不同扫描位置,扫描速率和扫描尺寸条件 下进行平直正交XY轴扫描。即使最平坦的样品也不会出现如光学平面,各种偏移
自原子力显微镜(AFM)[1]发明以来,它被广泛应用到了样品表面无损成像中,其电学、磁学和力学等性能表征也吸引了科研界的巨大兴趣。然而,除此之外,AFM还为局部表面修改和图案制作提供了巨大的潜力,它可以使用过度的悬臂施加
铁电材料由于其独特的机电特性和电学特性,在工业上得到了广泛的应用,例如作为致动器、传感器和电容器等 [1], [2]。 如今,研究人员正在研究铁电体对5G等现代通信技术的适用性 [3], 作为光伏电池中的活性层 [4],
近年来,对电化学过程的理解如电沉积(也称电镀)在各种科学技术中的作用变得非常凸显,包括括微电子、纳米生物系统、太阳能电池、化学等其他广泛应用。〔 1,2〕电沉积是一种传统方法,利用电流通过一种称为电解质的溶液来改变表面特
世界领先的原子力显微镜制造商帕克原子力显微镜(Park Systems)宣布将于2018年11月22日在中国北京中关村皇冠假日酒店举行北京办事处的盛大开幕式。包括天津大学纳米颗粒与纳米系统国际研究中心的马雷教授在内的行业领军人物都将参加该开幕式,届时会举行隆重的剪彩仪式。北京办事处现有NX10样品机台(上海LAB备有NX20样品机台), 它们将作为中韩的AFM研究设施地,会为所有中国客户提供有力的技术、应用和销售支持以及完善的售后服务。随着中国对现代AFM
帕克原子力显微镜北京分公司开幕典礼于2018年11月22日在北京中关村皇冠假日酒店隆重举办。帕克全球销售副总裁James Woo、大中华区总经理张家荣、帕克原子力显微镜研发组副总裁Sang-joon Cho博士等公司高层及R&D技术研发部专家们出席。活动还邀请了天津大学纳米颗粒与纳米系统国际研究中心马雷教授和首都师范大学的张利胜教授等帕克产品的资深用户做了应用报告 。 <剪彩仪式>2018年是帕克开拓中国市场的重要一年,公司高层在致辞
Park Systems全球奖学金项目面向全球,通过Park德国分公司, Park美国分公司,Park日本分公司, Park法国分公司, Park新加坡分公司等各分公司共选拔出20位全球使用过Park机台发表论文以及在国内外学会上给报告并申请Park全球奖学金的学者们。与此同时,Park原子力显微镜中国分公司在中国于2018年开设了Park奖学金项目。Park奖学金面向中国各大高校研究室的在读研究室博士生博士后,提供3000人民币的奖学金,旨在鼓励年轻一代
福布斯日前公布亚洲收入十亿美元以下企业200强榜单,韩国Park原子力显微镜公司榜上有名。 福布斯亚洲收入10亿美元以下企业200强榜单收录了年收入10亿美元以下的上市公司,上榜企业是从亚太地区18,000家符合条件的企业中选出的,此标准确保了亚太地区企业的地域多样性。 入选公司净利润必须为正,且公开交易至少一年以上,营业额与净利持续增长。 根据福布斯亚洲的文告,榜上的公司都拥有出色的纪录,在销售、盈利增长、债务水平和
氟化钙薄膜的介电性能 摘要通过导电原子力显微镜观察到的氟化钙、二氧化硅、二氧化钛和六方氮化硼的纳米级电均匀性。 由于二维材料与传统三维电介质间问题性界面的存在,二维材料在固态电子器件和电路集成的应用极大被限制。然而不同于传统的三维介电材料,氟化钙与二维材料间形成的准范德华界面能大大提高界面间兼容性。从材料的可靠性角度出发,我们通过导电原子力显微镜测试收集多个不同位置的漏电流以及超过3000条伏安曲线,系统地证明了超薄氟化钙
图片描述:多频静电力显微术的基本原理,及其用于样品自由载流子的实空间成像探测。近年来,由于其潜在的巨大应用价值,关于二维层状材料的基础和应用研究方兴未艾,核心工作是理解和控制其多种多样的有趣性质。之前的研究工作主要集中在二维材料的面内结构,多种多样的层间相互作用在调控其力学、电学、热学以及光学等性质方面也有重要作用。虽然已有许多实验和理论研究工作来表征和理解这些界面结构,但对于界面行为是如何影响其物理与化学行为的仍然不是特别清楚。一个重要原因是,内部界面结
A short tutorial video showing how the PinPoint nanomechanical mode of Park Systems works and characterizes topography and modulus. 这个短视频展示了Park原子力显微镜的PinPoint纳米力学模式的操作方法,视频还描述了样品形貌和杨氏模量。
2020年5月11日,原子力显微镜制造商Park原子力显微镜公司(Park Systems)宣布,该公司入选了英国《金融时报》(FT)近日发布的“2020亚太区高成长500强企业榜单”。 《金融时报》(FT)依据各企业2015至2018年的年复合成长率(CAGR)排名,选出亚太地区500家成长最快的企业,他们分别来自亚太区域11个经济体,包括新加坡、马来西亚、印度尼西亚、菲律宾、澳大利亚、新西兰、印度、日本、韩国等。数据
2020年4月29日,Park原子力显微镜宣布最终完成对美国加州圣何塞的Molecular Vista进行的股权投资。Molecular Vista作为一家AFM的生产商,该公司主要聚焦于基于光诱导力显微镜的纳米红外技术(IR PiFM)进行AFM红外联用的定量可视化研究工作,从而实现分子水平上探测和解析物质的红外光谱特征。Molecular Vista推出全新一代的原子力显微镜VistaScope与红外光诱导力显微镜联用, 提供纳米成像与光谱。 
有着先进计量学解决方案的创新型原子力显微镜公司Park以及全球领先的纳米电子研发与创新中心的imec,于2020年2月17日在比利时鲁汶的imec总部正式举行了签约仪式。这是合作双方在4年内签署的第二个联合开发项目(JDP),双方都致力于加大力度研发下一代的在线AFM计量解决方案。 新的JDP扩展了合作关系,以探索适用于晶圆半导体领域的AFM计量解决方案的新领域。第一个JDP成功探索出在线自动原子力显微镜在半导体研究中
湖南大学
陕西科技大学
西安交通大学
江西师范大学
东北电力大学
上海交通大学
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