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样品台移动范围 | XY:150mm*150mm,200mm*200mm,Z:25mm | 样品尺寸 | H:150mm,DIA:200mm,T:20mm |
定位检测噪声 | <0.03nm(标准值0.02nm) |
作为一款缺陷形貌分析的精密测量仪器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。而仪器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20,这款全球最精密的大型样品原子力显微镜,凭借着出色的数据准确性,在半导体和超平样品行业中大受赞扬。
Park NX20具备独一无二的功能,可快速帮助客户找到产品失效的原因,并帮助客户制定出更多具有创意的解决方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数据,让您能够更加专注于工作。与此同时,真正非接触扫描模式让探针尖端更锋利、更耐用,无需为频繁更换探针而耗费大量的时间和金钱。。
ParkNX20拥有业界最为便捷的设计和自动界面,让你在使用时无需花费大量的时间和精力,也不用为此而时时不停的指导初学者。借助这一系列特点,您可以更加专注于解决更为重大的问题,并为客户提供及时且富有洞察力的失效分析报告。
NX20的创新架构让您可以检测样品的侧壁和表面,并测量它们的角度。众多的功能和用途正是您的创新性研究和敏锐洞察力所必备的。
表面光洁度测量是Park NX20的关键应用之一,能够带来精确的失效分析和质量保证。
QuickStep SCM
最快的扫描式电容显微镜
PinPoint AFM
无摩擦导电原子力显微镜
通过对比重复扫描情况下探针尖端的形状变化,您可以轻易看到Park的真正非接触模式的优势所在。
借助真正非接触模式,探针尖端在扫描氮化铬样品(即探针检测样品)200次后仍可保持锋利的状态。氮化铬的表面粗糙且研磨性强,会让普通的探针很快变钝。
超低噪声Z探测器,噪音水平低于0.02 nm,从而达到非常精准样品形貌成像,没有边沿过冲无需校准。Park NX20在为您提供好的数据的同时也为您节省了宝贵的时间。
使用低噪声Z探测器信号进行台阶形貌测量。
在大范围扫描过程中系统Z向噪音小于0.02 nm。
没有前沿或后沿过冲现象
终身无需校准,减少设备维护成本
比传统的扫描式电容显微镜(SCM)扫描速度快十倍
信号灵敏度、空间分辨率和数据精确度不受影响
在QuickStep扫描模式下,SCM测量通量大幅提升,可达到标准SCM扫描速度的十倍,且信号灵敏度、空间分辨率和数据精确度不受影响。在QuickStep扫描模式下,XY轴扫描器在各像素点停住,记录数据。扫描器会在各像素点之间快速跳跃。
XY扫描器采取多点运动。
扫描速度1.5Hz
扫描速度1Hz
扫描大小: 10 µm×3 µm, AC Bias: 0.5 Vp-v, DC Bias: 0 V
在半导体制造业,分析掺杂剂分布对于确定失效原因和进行设计改进有着重要作用。在器件特性化方面,SCM有着独一无二的二维量化掺杂剂分布分析能力。
PinPoint导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。在电流采样过程中,XY轴扫描器会依据用户设定的接触时间停止。PinPoint导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率,且不受 侧向力的影响,同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。
样品: ZnO nano-rods, -3 V sample bias
通过对比氧化锌纳米棒在不同类型的导电原子力显微镜图像,我们可以看到相比轻敲式导电原子力显微镜,传统的接触式导电原子力显微镜有着更高精度的电流测量,但其分辨率低,原因在于探针在接触中快速磨损。全新的PinPoint导电原子力显微镜不但空间分辨率更高,且电流测量也得到优化。
导电原子力显微镜是各类元件研究的重要工具,特别是工业的失效分析。Park导电原子力显微镜在市场中竞争力最强,不但有着全行业最低的电流噪声,且增益范围也是最大。
业内最低的电流噪声(0.1 pA)
业内最大的电流(10 μA)
最大的增益范围(7个数量级,103-109)
柔性引导高推动力扫描器
扫描范围: 15 µm (可选 30 µm)
高度信号噪声等级: 30 pm
(RMS, at 0.5 kHz带宽)
闭环控制的柔性引导XY扫描器
扫描范围: 100 µm × 100 µm
(可选 50 µm × 50 µm)
Z位移台行程范围 : 25 mm (Motorized)
聚焦样品台行程范围 : 15 mm (Motorized)
XY位移台行程范围 : 150 mm x 150 mm (Motorized)
样品尺寸 : 基本配置最大开放空间为 150 mm x 150 mm,厚度最大值为 20 mm (可选,最大可扩展到 200 mm x 200 mm)
样品重量 : < 500 g
10倍 (0.23 N.A.)超长工作距离镜头 (1µm分辨率)
样品表面和悬臂的直观同轴影像
视野 : 840 × 630 µm (带10倍物镜)
CCD : 100万像素, 500万像素 (可选)
AFM系统控制和数据采集的专用软件
智能模式的快速设置和简易成像
手动模式的高级使用和更精密的扫描控制
AFM数据分析软件
集成功能
4通道数字锁相放大器
数据Q控制
信号处理
ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor
DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning
Maximum data size : 4096 x 4096 pixels
连接外部信号
20个嵌入式输入/输出端口
5个TTL输出 : EOF, EOL, EOP, 调制和交流偏压
真正非接触式原子力显微镜
PinPoint™ 原子力显微镜
接触式原子力显微镜
横向力显微镜(LFM)
相位成像
轻敲式原子力显微镜
力-距离(F/d)光谱
力谱成像
静电力显微镜 (EFM)
动态接触式静电力显微镜 (EFM-DC)
压电力显微镜 (PFM)
高压压电力显微镜*
力调制显微镜 (FMM)
纳米压痕*
纳米刻蚀*
高压纳米刻蚀*
纳米操纵*
磁力显微镜 (MFM)
可调制磁力显微镜
导电原子力显微镜 (C-AFM)*
IV 谱线*
扫描开尔文探针显微镜 (KPFM)
扫描电容显微镜 (SCM)*
扫描电阻显微镜 (SSRM)*
扫描隧道显微镜 (STM)*
光电流测绘 (PCM)*
功能化探针的化学力显微镜
电化学显微镜 (EC-AFM)
定制您独有的原子力显微镜
Park的自动化控制软件,可根据您的预设程序自动进行AFM测量。它可以准确地收集数据,执行模式识别,并使用它的寻边器和光学模块进行分析,不需要人工介入,从而为您节省大量宝贵时间。
倾斜样品倾角夹具,可帮助您进行样品侧壁成像。
NX20的创新架构实现了对样品侧壁和表面的检测,还能够测量出相应角度。这为您提供了更多的创新研究方案和对样品更深入的理解。
温度稳定的隔音罩
创新的控制设计使Park NX20能够快速达到温度平衡
NX20具有主动隔振功能。
集成编码器的自动载台
• XY马达运动工作时分辨率为1 µm,重复率为2 µm。
• Z马达运动的分辨率为0.1 µm,分辨率为1 µm。
样品盘
• 用于电气测量的专用小样品架
• 用于固定晶圆的真空槽
温度控制
· 温控台 1: -25 °C to +170 °C
·温控台 2: Ambient to +250 °C
· 温控台 3: Ambient to +600 °C
帕克 NX20 原子力显微镜,Park NX20
帕克 NX20 原子力显微镜信息由Park帕克原子力显微镜为您提供,如您想了解更多关于帕克 NX20 原子力显微镜报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
在当前测量操作中实现最佳的分辨率与灵敏度PinPoint™导电原子力显微镜模式是针对探针和样品之间的指定电接点而开发设计的。XY轴扫描仪停动的同时测量电流,接触时间由用户控制。PinPoint™导电原子力显微镜模式能够带来更高的空间分辨率,且不受 侧向力的影响,同时在不同样品表面的电流测量也得到优化。
有机电子学领域得益于新的共轭半导体聚合物的发现,这些聚合物包含对构像涨落具有快速还原能力的分子主链,并伴随着通常超过1cm2/Vs基准的电荷载流子迁移率。其中一种聚合物是 C16-IDTBT(indacenodithiophene-co-benzothiadiazole)。Illia Dobryden, Vladimir V. Korolkov等学者组成的研究团队,针对 C16-IDTBT 进行了多项研究,并将研究成果“Dynamic self-
自2004年石墨烯被发现具有开创性的特性后,二维材料在纳米电子学、柔性光电子学和电化学储能等领域都拓展了它的应用前景,并得到了广泛的研究。为了获得更广泛的材料特性,并且应用到相应的各个应用领域,研究人员在一个称为Twistronics的新研究领域中研究了不同二维材料相互叠置的范德华异质结构。他们发现,由于材料的不同周期性和两层之间的轻微扭曲角,这种超晶格出现,其特征是比原始单层具有更大的周期性。
Park的串扰消除技术不仅改善了扫描器弓形弯曲的缺点,还能够在不同扫描位置,扫描速率和扫描尺寸条件 下进行平直正交XY轴扫描。即使最平坦的样品也不会出现如光学平面,各种偏移扫描等曲率的背景。由此为 您在研究中遇到的所有极具挑战性的问题提供高精度的纳米测量。
Vladimir Korolkov, Ilka M. Hermes Park Systems UK Ltd, MediCity, Nottingham, UK.Park Systems Europe GmbH, Mannheim, Germany 自2004年石墨烯被发现具有开创性的特性后,二维材料在纳米电子学、柔性光电子学和电化学储能等领域都拓展了它的应用前景,并得到了广泛的研究。为了获得更广泛的材料特性,并且应用到相应的各个应用领域
导电原子力显微镜(C-AFM)是一种非常有用的扫描探针显微镜(SPA)纳米表征技术,它不仅可以对样品的形貌进行表征,更重要的是可以探测许多介质材料和电子器件的局部电学性质。C-AFM技术已经成功表征了介质薄膜的许多重要的纳米级现象,比如:局部缺陷、电荷捕获和释放、应力诱导漏电流、负偏置温度不稳定性等。 目前,随着电子器件尺寸和介电材料厚度的不断缩减,纳米级电学性质表征技术手段的应用和发展变得日益重要。本讲座首先简要介绍C-AFM技术的发展历程
自原子力显微镜发明以来,原子力显微镜通过在纳米尺度上提供精确、可靠、无损的成像,在材料科学和元件工程中产生了革命性的影响。原子力显微镜被广泛用于纳米技术应用当中,像生物医学可植入驱动器、电池超薄阴极材料、光电探测器和存储
导电性测量是一种有效的方法, 可用来描述某些特殊应用中材料的特性与行为,从能量存储和能量转换元件,到分子元件电路以及纳米级半导体元件。导电探针原子力显微镜(CP-AFM)是其中一种相当有用的技术,它可以提供精确的纳米级测
为FA和研究实验室提供精确的原子力显微镜解决方案 介质和基底的表面粗糙度测量 缺陷检测成像和分析 高分辨率电学扫描模式 针对三维结构研究的侧壁测量* 实现高量率的精确且高重复性的测量 非接触模式能够保持针尖锐度,确保表面
SILICON SEMICONDUCTOR I 高真空对于电扫描探针显微镜的优势高真空对于电扫描探针显微镜的优势Advantages Of High Vacuum For Electrical Scanning Prob
Caption: Single layer of molecular network showing both, Moire pattern and molecular lattice structure captured by Park #NX20 AFM.
SEMICON China 2021T3展馆 3229展位Park邀您参馆!2021年3月17日,一年一度的半导体行业盛会SEMICON China 2021在上海新国际博览中心顺利进行了开幕仪式。全球首家推出商业原子力显微镜产品的上市公司韩国Park原子力显微镜携全面的半导体行业解决方案,以及最新的专为超大纳米平板显示器测量儿设计的自动化原子力显微镜Park NX-TSH新品精彩亮相。Park还在N2馆展览Park NX20 demo机器,现场来往的专业
福布斯日前公布亚洲收入十亿美元以下企业200强榜单,韩国Park原子力显微镜公司榜上有名。 福布斯亚洲收入10亿美元以下企业200强榜单收录了年收入10亿美元以下的上市公司,上榜企业是从亚太地区18,000家符合条件的企业中选出的,此标准确保了亚太地区企业的地域多样性。 入选公司净利润必须为正,且公开交易至少一年以上,营业额与净利持续增长。 根据福布斯亚洲的文告,榜上的公司都拥有出色的纪录,在销售、盈利增长、债务水平和
氟化钙薄膜的介电性能 摘要通过导电原子力显微镜观察到的氟化钙、二氧化硅、二氧化钛和六方氮化硼的纳米级电均匀性。 由于二维材料与传统三维电介质间问题性界面的存在,二维材料在固态电子器件和电路集成的应用极大被限制。然而不同于传统的三维介电材料,氟化钙与二维材料间形成的准范德华界面能大大提高界面间兼容性。从材料的可靠性角度出发,我们通过导电原子力显微镜测试收集多个不同位置的漏电流以及超过3000条伏安曲线,系统地证明了超薄氟化钙
图片描述:多频静电力显微术的基本原理,及其用于样品自由载流子的实空间成像探测。近年来,由于其潜在的巨大应用价值,关于二维层状材料的基础和应用研究方兴未艾,核心工作是理解和控制其多种多样的有趣性质。之前的研究工作主要集中在二维材料的面内结构,多种多样的层间相互作用在调控其力学、电学、热学以及光学等性质方面也有重要作用。虽然已有许多实验和理论研究工作来表征和理解这些界面结构,但对于界面行为是如何影响其物理与化学行为的仍然不是特别清楚。一个重要原因是,内部界面结
A short tutorial video showing how the PinPoint nanomechanical mode of Park Systems works and characterizes topography and modulus. 这个短视频展示了Park原子力显微镜的PinPoint纳米力学模式的操作方法,视频还描述了样品形貌和杨氏模量。
Park原子力显微镜公司,作为世界知名的原子力显微镜制造商宣布了一款新品,名为Park NX-TSH, 此款龙门架设计平板式探针扫描器专为最新一代显示器工厂的应用需求研发设计,最大样品可以测到2200 mm。NX-TSH的模块化设计还可在提供样品3D形貌的同时提供微区电流测量。 Park将参加6月27-29日举行的SEMICON China 2020,并在E7549展位上展示新品Park NX-TSH和NX-Photomask, 并将在稍后举行的
2020年5月11日,原子力显微镜制造商Park原子力显微镜公司(Park Systems)宣布,该公司入选了英国《金融时报》(FT)近日发布的“2020亚太区高成长500强企业榜单”。 《金融时报》(FT)依据各企业2015至2018年的年复合成长率(CAGR)排名,选出亚太地区500家成长最快的企业,他们分别来自亚太区域11个经济体,包括新加坡、马来西亚、印度尼西亚、菲律宾、澳大利亚、新西兰、印度、日本、韩国等。数据
2020年4月29日,Park原子力显微镜宣布最终完成对美国加州圣何塞的Molecular Vista进行的股权投资。Molecular Vista作为一家AFM的生产商,该公司主要聚焦于基于光诱导力显微镜的纳米红外技术(IR PiFM)进行AFM红外联用的定量可视化研究工作,从而实现分子水平上探测和解析物质的红外光谱特征。Molecular Vista推出全新一代的原子力显微镜VistaScope与红外光诱导力显微镜联用, 提供纳米成像与光谱。 
有着先进计量学解决方案的创新型原子力显微镜公司Park以及全球领先的纳米电子研发与创新中心的imec,于2020年2月17日在比利时鲁汶的imec总部正式举行了签约仪式。这是合作双方在4年内签署的第二个联合开发项目(JDP),双方都致力于加大力度研发下一代的在线AFM计量解决方案。 新的JDP扩展了合作关系,以探索适用于晶圆半导体领域的AFM计量解决方案的新领域。第一个JDP成功探索出在线自动原子力显微镜在半导体研究中
讲座时间:北京时间12月19日(周四)下午15:00-16:00扫描文章最下方二维码免费申请进入网络讲堂直播厅石墨烯包覆纳米探针示意图扫描探针显微镜(SPM)已经广泛应用于各个学科领域,其中,纳米探针是扫描探针显微镜中的重要组成部分,它不仅决定了图像的分辨率,而且确保了电学、热学、机械学等方面的测试。然而,导电SPM探针有一个突出的问题是:以导电原子力显微镜中导电探针为例,薄的导电镀层(20 nm)在接触模式或高电流下极易受损,从而失去导电性,导致较低的实
5月28日北京理工大学智能机器人与系统高精尖创新中心(BAICIRS)在6号楼会议中心举行了一场“用于细胞核压力分析的微型机器人”为主题的专题研讨会。日本建设机器人学会会长新井健生教授主持了这次会议,该中心邀请了日本东北大学的Toshihiko Ogura教授进行了关于“The M Project: Mechanical,Metabolism, Mitochondria and Muscle”的演讲,大阪大学的Masaru Kojima教授进行
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