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二次电子图象分辨率 | 3 nm/30 kV | 放大倍数 | 1X ~ 300,000X |
电子光学 | 光学导航 | 样品台 | 标配三轴自动,选配五轴自动 |
探测器 | 二次电子探测器(ETD) 背散射电子探测器、低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等 | 背散射电子图像分辨率 | 4 nm @ 30 kV(BSE) |
加速电压 | 0.2 kV~30 kV | 电子枪种类 | 钨灯丝 |
电子枪
电子枪是由阴极(灯丝)、栅极和阳极组成。它的主要作用是产生具有一定能量的细聚焦电子束。为了获得较高的信号强度和扫描像,由电子枪发射的扫描电子束应具有较高的亮度和尽可能小的束斑直径。常用的电子枪有三种:普通热阴极三极电子枪、六硼化镧阴极电子枪和场发射电子枪.其性能如表1所示。前两种属于热发射电子枪,后一种则属场发射电子枪,由图一可以看出,场发射电子枪的亮度最髙、电子源直径最小,是高分辨本领扫描电镜的理想电子源,当然氏价格也是相当昂贵的。从图3给出的构造示意图可以看到,热发射型电子枪和场发射电子枪(FEG)的区別:热发射型电子枪在紧靠灯丝下面有一个韦氏极,在韦氏极上加一个比灯丝更负的电圧,这个电压称为偏压(bias voltage),这个偏圧控制了电子束流和它的扩展状态,而对于场发射电子枪(FEG),不釆用韦氏极,而是用吸出极和静电透镜。
从加热的钨灯丝、六硼化镧灯丝发射的电子或者场致发射的电子,由栅极聚焦和阳极加速后,形成一个10~100lum交叉点,再经过汇聚透镜和物镜的聚焦作用,在试样表面形成一个小于1弘米的电子探针。为加速从电子源发射的电子而加到灯丝到阳极之间的电位差称加速电压,加速电压可变范围一般为1~30kV。
直观反映整个视野的像散程度,通过鼠标点击清晰处,可快速调节像散至最佳。
一键聚焦,快速成像。
一键消像散,提高工作效率。
一键自动亮度对比度,调出灰度合适图像。
SEM3200软件支持一键切换SE和BSE的混合成像。可同时观察到样品的形貌信息和
成分信息。
拖动一条线,图像立刻“摆正角度”。
SEM3200是一款高性能、应用广泛的通用型钨灯丝扫描电子显微镜。拥有出色的成像质量、可兼容低真空模式、在不同的视场范围下均可得到高分辨率图像。
大景深,成像富有立体感。丰富的扩展性,助您在显微成像的世界中尽情探索。
SE\BSE\EDS\EBSD等
可快速定位目标样品和感兴趣区域
可实现全自动的采图和拼接,展示超大视野画面
在一个图像中观察到样品的成分和表面信息
双阳极结构设计,提升了低电压下的分辨率和成像质量
在低真空下提供样品表面细节和形貌,软件一键切换真空状态
(*为选配件)
碳材料样品,低电压下,穿透深度较小,可以获取样品表面真实形貌,细节更丰富。
毛发样品,在低电压下,电子束辐照损伤减小,同时消除了荷电效应。
过滤纤维管材料,导电性差,在高真空下荷电明显,在低真空下,无需镀膜即可实现对不导电样品的直接观察。
生物样品,采用大视场观察,能够轻松获得瓢虫整体形貌及头部结构细节,展现跨尺度分析。
想看哪里点哪里,导航更轻松
标配仓内摄像头,可拍摄高清样品台照片,快速定位样品。
可通过双击移动、鼠标中键拖动、框选放大,进行快捷导航
如框选放大:在低倍导航下,获得样品的大视野情况,可快速框选您感兴趣的样品区域,提高工作效率。
采取多维度的防碰撞方案:
1. 手动输入样品高度,精准控制样品与物镜下端距离,防止发生碰撞;
2. 基于图像识别和动态捕捉技术,运动过程中对仓内的画面进行实时监测;
3.*硬件防碰撞,可在碰撞一瞬间停止电机,减少碰撞损伤。
扫描电子显微镜不仅局限于表面形貌的观察,更可以进行样品表面的微区成分分析。
SEM3200接口丰富,除支持常规的二次电子探测器(ETD)、背散射电子探测器(BSED)、X射线能谱仪(EDS)外,也预留了诸多接口,如电子背散射衍射(EBSD)、阴极射线(CL)等探测器都可以在SEM3200上进行集成。
背散射电子成像模式下,荷电效应明显减弱,并且可以获得样品表面更多的成分信息。
镀层样品:
钨钢合金样品:
探测器设计精巧,灵敏度高,采用5分割设计,无需倾斜样品,可获得不同方向的阴影像以及成分分布图像。
单通道阴影像
成分像
LED小灯珠能谱面分析结果。
钨灯丝电镜束流大,完全满足高分辨EBSD的测试需求,能够对金属、陶瓷、矿物等多晶材料进行晶体取向标定以及晶粒度大小等分析。
该图为Ni金属标样的EBSD反极图,能够识别晶粒大小和取向,判断晶界和孪晶,对材料组织结构进行精确判断。
普通芯片-1
普通芯片-2
负极-碳
负极-碳包硅
正极-钴酸锂
正极-锰酸锂
太阳能电池-1
太阳能电池-2
高分子泡沫
催化剂-MOF材料
2A12铝合金析出相
Mg-Zn合金化合物层
不锈钢-黄铜焊接件
钛合金基体组织
合金断口脆性+韧性
韧性断口
钢铁夹杂物BSE
钢铁夹杂物SE
硅藻-1
硅藻-2
鸡葡萄球菌-1
鸡葡萄球菌-2
大米
糯米淀粉颗粒-1
糯米淀粉颗粒-2
受潮盐颗粒
粉体-钛酸钡
粉体-硫酸镁
粉体-氧化铝
过滤功能材料
岩石
纳米材料-二氧化硅微球
SiC陶瓷BSE
SiC陶瓷SE
陶瓷复合材料
型号 | SEM3200A | SEM3200 | ||
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电子光学系统 | 电子枪类型 | 预对中型发叉式钨灯丝电子枪(灯丝电流3档可调,可显示灯丝更换时间) | ||
分辨率 | 高真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | ||
4 nm @ 30 kV(BSE) | ||||
8 nm @ 3 kV(SE) | ||||
*低真空 | 3 nm @ 30 kV(SE) | |||
放大倍率 | 1-300,000x(底片倍率) | |||
1-1000,000x(屏幕倍率) | ||||
加速电压 | 0.2 kV~30 kV | |||
探针电流 | ≥1.2μA,可实时显示 | |||
成像系统 | 探测器 | 二次电子探测器(ETD) | ||
*背散射电子探测器、*低真空二次电子探测器、*能谱仪EDS等 | ||||
图像保存格式 | TIFF、JPG、BMP、PNG | |||
真空系统 | 真空模式 | 高真空 | 优于5×10-4 Pa | |
*低真空 | 5~1000 Pa | |||
控制方式 | 全自动控制 | |||
涡轮分子泵 | ≥ 240 L/S | |||
机械泵 | 200 L/min (50 Hz) | |||
样品室 | 摄像头 | 光学导航 | ||
样品仓内监控 | ||||
样品台配置 | 三轴自动 | *五轴自动 | ||
行程 | X: 120 mm | X: 120 mm | ||
Y: 115 mm | Y: 115 mm | |||
Z: 50 mm | Z: 50 mm | |||
/ | R: 360° | |||
/ | T: -10°~ +90° | |||
能谱仪 | 能谱仪探测器 | 分析型SDD硅漂移电制冷探测器,有效面积≥30 mm2,晶体面积≥50 mm2,高分子超薄窗设计,无需液氮冷却,仅消耗电能 | ||
能谱仪能量分辨率 | Mn Ka保证优于129eV | |||
元素分析范围 | B5~Cf98 | |||
软件 | 语言 | 中文 | ||
操作系统 | Windows | |||
导航 | 光学导航、手势快捷导航、可自动叠加电镜图片 | |||
自动功能 | 自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | |||
特色功能 | 智能辅助消像散、*大图拼接(选配软件) | |||
安装要求 | 房间 | 长 ≥ 3000 mm,宽 ≥ 4000 mm,高 ≥ 2300 mm | ||
温度 | 20 ℃~25 ℃ | |||
湿度 | ≤ 50 % | |||
电气参数 | 电源AC 220 V(±10 %),50 Hz,2 kVA |
国仪量子 国产低真空钨灯丝扫描电子显微镜 SEM3200,SEM3200
国仪量子 国产低真空钨灯丝扫描电子显微镜 SEM3200信息由国仪量子技术(合肥)股份有限公司为您提供,如您想了解更多关于国仪量子 国产低真空钨灯丝扫描电子显微镜 SEM3200报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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近日,国家市场监督管理总局办公厅发布了《第一批全国计量文化和科普资源创新基地的通知》,国仪量子(合肥)技术有限公司(联合合肥市蜀山区人民政府共同申报)“上榜”。图片来源:国家市场监督管理总局官网国仪量子成立近6年来,除了在量子精密测量、量子计算等领域取得了一系列具有国际影响力的科研成果外,还为了更好地传播量子技术,面向社会大众提供科普服务,组建了专业从事量子计量文化和科普教育的科普事业部。公司现有科普教育基地面积1500余平米,设有量子计量文化和科普实验室
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4月20日,由中国科学技术大学、中国科学院自主研制科学仪器应用示范中心与国仪量子(合肥)技术有限公司联合举办的首期“国仪论坛——国产高端科学仪器研制进展及应用”线上会议成功举行。17位学界大咖、业界精英为广大科研工作者分享了多种国产高端仪器的研究进展与应用体验。本次论坛邀请了中国科学技术大学、合肥微尺度物质科学国家研究中心、安徽大学、重庆大学等多所高校与科研院所的专家学者,围绕微弱信号检测、物理吸附表征、显微成像分析、顺磁共振波谱等高端科学仪器的技术与应用
当今世界正经历百年未有之大变局,我国发展面临的国内外环境发生深刻复杂变化,我国“十四五”时期以及更长时期的发展对加快科技创新提出了更为迫切的要求。高端科学仪器是科技创新的基石,也是目前我国科技发展的重大短板之一。据统计,我国每年有超七成的高端科学仪器依赖进口,高端科学仪器供给不足严重制约着我国的科技创新。发展国产高端科学仪器,解决“卡脖子”的关键核心技术,提升国产科学仪器研发水平,成为了学界与业界需要同发力、共担当的事业。因此,中国科学技术大学、中国科学院
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