400-6699-117 转 4818
分析测试百科网认证，请放心拨打
若未完成电话咨询，您可提交留言咨询，厂商主动联系您
国产高速扫描电子显微镜 HEM6000
参考价：面议
历史价格
历史价格
品牌：国仪量子 产地：安徽 型号：HEM6000 样本：来电或留言获取样本
AI Agent
- 国产高速扫描电子显微镜 HEM6000价格？
- 国产高速扫描电子显微镜 HEM6000可以做哪些实验？
- 国产高速扫描电子显微镜 HEM6000参数？
- 国产高速扫描电子显微镜 HEM6000配套的耗材试剂？
- 国产高速扫描电子显微镜 HEM6000操作规程？
- 国产高速扫描电子显微镜 HEM6000使用注意事项？
参数
| 产地类别：国产 | 供应商性质：生产商 | 电子枪类型：热场发射 |
| 价格范围：500万-700万 | 产品类型：落地式/传统大型 | 二次电子图象分辨率：1.3nm @ 3 kV；2.2 nm @ 1 kV |
| 放大倍数：66 x ～ 1,000,000 x | 样品台：X、Y轴：110mm；Z轴：28mm | 探测器：高速直接电子探测器，镜筒内混合电子探测器，低角度背散射电子探测器，高角度背散射电子探测器 |
| 背散射电子图像分辨率：1.9nm @ 3 kV；3.3 nm @ 1 kV | 加速电压：100 V～6 kV(减速模式) ； 6 kV～30 kV(非减速模式) |
产品介绍
高速扫描电子显微镜
HEM6000
HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了超快的数据采集和成像速度，同时保证了纳米级分辨率。
面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。
性能特点
图像采集速度：10 ns/pixel，2*100 M pixel/s
加速电压：100 V~6 kV(减速模式) ； 6 kV~30 kV(非减速模式)
分辨率：1.3 nm@3 kV，SE ； 2.2 nm@1 kV，SE
视场大小：最大视场1*1 mm²，高分辨微畸变视场32*32 um²
样品台精度：重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um
高速扫描驱动器 电子过滤系统
驻点时间10 ns/pixel， SE/BSE信号自由切换，
最快采集速度2*100 M pixel/s MIX成像信号比例可调
全静电高速偏转系统 样品台减速技术
可实现高分辨大场模式， 降低入射电子落点电压，
4 nm像素点最大视场达32*32 um² 同时提高回收电子的收集效率
浸没式电磁复合物镜
物镜磁场浸没样品
实现了低像差高分辨率
产品优势
01 高速自动化
全自动上下样流程和采图作业，综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
02 大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变
03 低压高分辨
样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率
应用领域
半导体工业
生命科学
材料科学
地质科学
应用案例
芯片（金属层）/ 116x / BSE / 120 ns
芯片（器件层） / 2000x / BSE / 40 ns
芯片（金属层）/ 1200x / BSE / 120 ns
芯片（器件层） / 1200x / BSE / 120 ns
生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 116x / BSE / 120 ns
| 指标 | HEM6000 | 常规场发射扫描电镜 |
| 像素尺寸(单张) | 8192*8192 | |
| 像素点时间 | 120 ns（点/行/帧平均数：6/2/1） | 800 ns |
| 像素大小 | 16 nm | |
| 拍摄总面积 | 2 mm² | |
拍摄总时间 | 25分32秒 | >140分 |
产品参数
| 关键参数 | 分辨率 | 1.3nm @ 3 kV，SE；1.9nm @ 3 kV，BSE； | |
| 2.2 nm @ 1 kV，SE；3.3 nm @ 1 kV，BSE； | |||
| 加速电压 | 100 V~6 kV(减速模式) | ||
| 6 kV~30 kV(非减速模式) | |||
| 放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
| 电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | ||
| 物镜类型 | 浸没式电磁复合物镜 | ||
| 样品装载系统 | 真空系统 | 全自动控制，无油真空系统 | |
| 样品监控 | 样品仓监控水平摄像头 ； 换样仓监控垂直摄像头 | ||
| 样品最大尺寸 | 直径4英寸 | ||
| 样品台 | 类型 | 电机驱动3轴样品台（*可选配压电驱动样品台） | |
| 行程 | X、Y轴：110mm； Z轴：28mm； | ||
| 重复定位精度 | X轴：±0.6μm； Y轴：±0.3μm； | ||
| 换样方式 | 全自动控制 | ||
| 换样时间 | ＜15 min | ||
| 换样仓清洗 | 全自动控制等离子清洗系统 | ||
| 图像采集与处理 | 驻点时间 | 10 ns/pixel | |
| 图像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
| 图像大小 | 8K*8K | ||
| 探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内混合电子探测器 | |
| 选配 | 低角度背散射电子探测器 | ||
| 镜筒内高角度背散射电子探测器 | |||
| 压电驱动样品台 | |||
| 高分辨大场模式 | |||
| 样品仓等离子清洗系统 | |||
| 6英寸样品装载系统 | |||
| 主动减震台 | |||
| AI降噪；大图拼接；三维重构 | |||
| 软件 | 语言 | 中文 | |
| 操作系统 | Windows | ||
| 导航 | 光学导航、手势快捷导航 | ||
| 自动功能 | 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 | ||
服务
扫描电子显微镜实验室
我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室，实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师，提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品，在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目，致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时，实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。
国产高速扫描电子显微镜 HEM6000信息由国仪量子技术（合肥）股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于国产高速扫描电子显微镜 HEM6000报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
扫描电镜产品推荐
最新评论
