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发布时间:2023年08月
二次电子图象分辨率 | 1.3nm @ 3 kV;2.2 nm @ 1 kV | 放大倍数 | 66 x ~ 1,000,000 x |
样品台 | X、Y轴:110mm;Z轴:28mm | 探测器 | 高速直接电子探测器,镜筒内混合电子探测器,低角度背散射电子探测器,高角度背散射电子探测器 |
背散射电子图像分辨率 | 1.9nm @ 3 kV;3.3 nm @ 1 kV | 加速电压 | 100 V~6 kV(减速模式) ; 6 kV~30 kV(非减速模式) |
高速扫描电子显微镜
HEM6000
HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。
采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术,实现了超快的数据采集和成像速度,同时保证了纳米级分辨率。
面向应用场景的自动化操作流程设计,使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。
性能特点
图像采集速度:10 ns/pixel,2*100 M pixel/s
加速电压:100 V~6 kV(减速模式) ; 6 kV~30 kV(非减速模式)
分辨率:1.3 nm@3 kV,SE ; 2.2 nm@1 kV,SE
视场大小:最大视场1*1 mm²,高分辨微畸变视场32*32 um²
样品台精度:重复定位精度:X ±0.6 um;Y ±0.3 um
高速扫描驱动器 电子过滤系统
驻点时间10 ns/pixel, SE/BSE信号自由切换,
最快采集速度2*100 M pixel/s MIX成像信号比例可调
全静电高速偏转系统 样品台减速技术
可实现高分辨大场模式, 降低入射电子落点电压,
4 nm像素点最大视场达32*32 um² 同时提高回收电子的收集效率
浸没式电磁复合物镜
物镜磁场浸没样品
实现了低像差高分辨率
产品优势
01 高速自动化
全自动上下样流程和采图作业,综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的 5 倍
02 大场低畸变
跟随扫描场动态变化的光轴,实现了更低的场边缘畸变
03 低压高分辨
样品台减速技术,实现低落点电压,同时保证高分辨率
应用领域
半导体工业
生命科学
材料科学
地质科学
应用案例
芯片(金属层)/ 116x / BSE / 120 ns
芯片(器件层) / 2000x / BSE / 40 ns
芯片(金属层)/ 1200x / BSE / 120 ns
芯片(器件层) / 1200x / BSE / 120 ns
生物切片 / 9500x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 10000x / BSE / 120 ns
生物切片 / 116x / BSE / 120 ns
指标 | HEM6000 | 常规场发射扫描电镜 |
像素尺寸(单张) | 8192*8192 | |
像素点时间 | 120 ns(点/行/帧平均数:6/2/1) | 800 ns |
像素大小 | 16 nm | |
拍摄总面积 | 2 mm² | |
拍摄总时间 | 25分32秒 | >140分 |
产品参数
关键参数 | 分辨率 | 1.3nm @ 3 kV,SE;1.9nm @ 3 kV,BSE; | |
2.2 nm @ 1 kV,SE;3.3 nm @ 1 kV,BSE; | |||
加速电压 | 100 V~6 kV(减速模式) | ||
6 kV~30 kV(非减速模式) | |||
放大倍率 | 66~1,000,000x | ||
电子枪类型 | 高亮度肖特基场发射电子枪 | ||
物镜类型 | 浸没式电磁复合物镜 | ||
样品装载系统 | 真空系统 | 全自动控制,无油真空系统 | |
样品监控 | 样品仓监控水平摄像头 ; 换样仓监控垂直摄像头 | ||
样品最大尺寸 | 直径4英寸 | ||
样品台 | 类型 | 电机驱动3轴样品台(*可选配压电驱动样品台) | |
行程 | X、Y轴:110mm; Z轴:28mm; | ||
重复定位精度 | X轴:±0.6μm; Y轴:±0.3μm; | ||
换样方式 | 全自动控制 | ||
换样时间 | <15 min | ||
换样仓清洗 | 全自动控制等离子清洗系统 | ||
图像采集与处理 | 驻点时间 | 10 ns/pixel | |
图像采集速度 | 2*100 M pixel/s | ||
图像大小 | 8K*8K | ||
探测器和扩展 | 标配 | 镜筒内混合电子探测器 | |
选配 | 低角度背散射电子探测器 | ||
镜筒内高角度背散射电子探测器 | |||
压电驱动样品台 | |||
高分辨大场模式 | |||
样品仓等离子清洗系统 | |||
6英寸样品装载系统 | |||
主动减震台 | |||
AI降噪;大图拼接;三维重构 | |||
软件 | 语言 | 中文 | |
操作系统 | Windows | ||
导航 | 光学导航、手势快捷导航 | ||
自动功能 | 自动样品识别、自动选区拍摄、自动亮度对比度、自动聚焦、自动像散 |
服务
扫描电子显微镜实验室
我们在合肥、无锡、广州和上海设有扫描电子显微镜实验室,实验室配备多名电镜技术专家和高级电镜应用工程师,提供包含电 镜应用技术开发、样品拍摄在内的多种服务。主要应用领域有锂电池、新型纳米材料、半导体材料、矿物冶金、地质勘探、生物医药等。 实验室依托国仪量子电镜产品,在电镜应用领域开展具有自主知识产权的科研项目,致力于实现科学研究和人才培养的目标。与此同时,实验室也为有电镜应用需求的科研院所、大专院校、企事业单位提供优质的服务。
国产高速扫描电子显微镜 HEM6000,HEM6000
国产高速扫描电子显微镜 HEM6000信息由国仪量子技术(合肥)股份有限公司为您提供,如您想了解更多关于国产高速扫描电子显微镜 HEM6000报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
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陶瓷材料具有高熔点、高硬度、高耐磨性、耐氧化等一系列特点,被广泛应用于电子工业、汽车工业、纺织、化工、航空航天等国民经济的各个领域。陶瓷材料的物理性能很大程度上取决于其微观结构,是扫描电镜重要的应用领域。 图片
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阳春三月芳菲遍,明天就是植树节,你准备好出门踏青了吗?快来和戏蝶游蜂一起,深入千花粉艳中!小花粉 大作用 你或许不知道的是,在科学研究中
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合作意向征集为深入贯彻《国务院办公厅关于深化产教融合的若干意见》精神,落实《教育部工业和信息化部中国工程院关于加快建设发展新工科实施卓越工程师教育培养计划2.0的意见》要求,深化产教融合、产学合作、协同育人、校企合作,将社会优质资源转化为育人资源,为企业和高校合作搭建平台。国仪量子现对2022年教育部产学合作协同育人项目合作意向进行征集。产学合作·协同育人项目国仪量子(合肥)技术有限公司源于中国科学技术大学中国科学院微观磁共振重点实验室,是一家以量子精密测
近日,中国科学技术大学理化科学实验中心发布仪器上新公告,扫描电子显微镜SEM3100完成调试,各项指标符合要求,投入试运行。该款扫描电镜由国仪量子自主研发,各项技术指标优、扩展性强、用户体验佳,将为“中心”提供高性能的检测分析工具,也为国产科学仪器的发展起到示范作用。国仪量子扫描电镜SEM3100交付现场试运行开放方式试运行期间免费,有测试需求的老师和同学请与机组联系。联系方式付圣权李 明周宏敏Lab1280551-63606441itisme
近日,国家市场监督管理总局办公厅发布了《第一批全国计量文化和科普资源创新基地的通知》,国仪量子(合肥)技术有限公司(联合合肥市蜀山区人民政府共同申报)“上榜”。图片来源:国家市场监督管理总局官网国仪量子成立近6年来,除了在量子精密测量、量子计算等领域取得了一系列具有国际影响力的科研成果外,还为了更好地传播量子技术,面向社会大众提供科普服务,组建了专业从事量子计量文化和科普教育的科普事业部。公司现有科普教育基地面积1500余平米,设有量子计量文化和科普实验室
近日,国务院常务会议决定,对部分领域设备更新改造贷款阶段性财政贴息,鼓励采购国产设备。会议指出,对高校、职业院校和实训基地、医院、新型基础设施和中小微企业、个体工商户等设备购置与更新新增贷款,实施阶段性鼓励政策,中央财政贴息2.5个百分点,期限2年。会议指出,今年第四季度,对高新技术企业购置设备的,允许一次性税前全额扣除并100%加计扣除;对现行按75%税前加计扣除研发费用的,统一提高到100%,鼓励改造和更新设备;对企业出资的科研机构等基础研究支出,税前
因科技而兴、因创新而进,科创已成为合肥最大标识,激发了当地企业自主创新的强大动力。越来越多合肥企业站在时代风口,超前谋划一批未来项目,勇闯无人区。中国科学院聚变堆主机园区。王岩摄合肥的云飞路,被人们称为“量子大道”,全球首颗量子通信卫星“墨子号”、全球首颗微纳量子卫星、全球首台光量子计算机、全球首条量子保密通信网络“京沪干线”等,均诞生在这条街上。国仪量子、国盾量子、本源量子等40余家企业扎根于此,共同放飞“量子梦想”。“量子精密测量仪器是打开微观世界的一
6月28-30日,2022中国青岛锂电负极材料技术大会在青岛举行,国仪量子携“锂电材料分析测试解决方案”闪耀大会,为锂电池材料行业的高品质发展带来了系统化的解决方案。随着国家全面推进“碳达峰、碳中和”战略,新能源产业成为实现国家双碳目标、推动能源转型的重要力量。锂离子电池以其体积小、能量密度高、循环寿命长、环境污染小等优点,覆盖消费电子产品、电动工具、新能源汽车、清洁电器、储能等众多应用场景,是促进新能源产业发展的重要力量。这也对锂离子电池制造的相关材料、
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2022年6月6日,国仪量子应用中心正式启用一周年。一年来,应用中心基于国仪量子自主研制的量子钻石单自旋谱仪、量子钻石原子力显微镜、电子顺磁共振波谱仪、扫描电子显微镜、比表面及孔径分析仪等高端科学仪器,为包括清华大学、中国科学技术大学、上海交通大学、新加坡南洋理工大学等海内外高校与科研院所,以及多行业企业,共计300余家客户,提供了科研和开发应用所需的软硬件支持,以及超过1100多次的测样服务。2021年6月6日,国仪量子应用中心正式启用用量子精密测量技术
4月20日,由中国科学技术大学、中国科学院自主研制科学仪器应用示范中心与国仪量子(合肥)技术有限公司联合举办的首期“国仪论坛——国产高端科学仪器研制进展及应用”线上会议成功举行。17位学界大咖、业界精英为广大科研工作者分享了多种国产高端仪器的研究进展与应用体验。本次论坛邀请了中国科学技术大学、合肥微尺度物质科学国家研究中心、安徽大学、重庆大学等多所高校与科研院所的专家学者,围绕微弱信号检测、物理吸附表征、显微成像分析、顺磁共振波谱等高端科学仪器的技术与应用
当今世界正经历百年未有之大变局,我国发展面临的国内外环境发生深刻复杂变化,我国“十四五”时期以及更长时期的发展对加快科技创新提出了更为迫切的要求。高端科学仪器是科技创新的基石,也是目前我国科技发展的重大短板之一。据统计,我国每年有超七成的高端科学仪器依赖进口,高端科学仪器供给不足严重制约着我国的科技创新。发展国产高端科学仪器,解决“卡脖子”的关键核心技术,提升国产科学仪器研发水平,成为了学界与业界需要同发力、共担当的事业。因此,中国科学技术大学、中国科学院
四月芳菲,嫣然绽放虽然疫情放缓了人们踏春的脚步但关不住对春天的向往科大的樱花又开了,就让国仪量子带您云赏芳华中国科学技术大学东校区老北门附近的“樱花大道”迎来了一年中的高光时刻,百余株樱花尽数绽放!科大樱花属于晚樱品种,与早樱相比花开得迟一些,但开放地更为绚烂多姿,光芒毕现。与武大樱花五瓣单片不同,科大的樱花是重瓣,花朵大而瓣密,正如古人诗云:“层层围珠玑,团团锦绣簇”。樱花红陌上,杨柳绿池边。你可能不知道的是,粉艳的樱花连花粉都万分美丽!来自中国科大理化
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