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仪器简介:
应用:
-光阻(PR) 或薄膜涂敷 -3D结构Pattern的薄膜涂敷 -(V型槽, U型槽, 空穴, 通路, 其他3D结构, etc.) -电镀制模 -牺牲层涂敷 -电pattern连接
样品尺寸: Up to 12" 喷涂方式 : 下部流出 喷雾头 : 喷雾器, 过滤器, 超声波喷嘴(100kHz) 喷嘴移动 : Max. 350mm(X-轴) / 20mm(Z-轴) 样品喷涂速度: Max. 2,000rpm 涡流气体 : 热N2 (Max. 85度 加热) 卡紧方式 : 真空型 光阻流速 : ~ 100 毫升/秒 注射器容量 : 100mL 过程控制 : 自动 (PC)
自动化装置,控制精准,操作方便,是薄膜,材料,半导体等行业的首选 。
喷雾式光阻涂布系统,SPC
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