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仪器简介:
迪纳等离子清洗机可用于清洗、刻蚀、磨砂和表面准备等。可选择40KHz、13.56MHz和2.45GHz三种射频发生器,以适应不同的清洗效率和清洗效果需要。 迪纳等离子清洗/刻蚀机具有成本低廉、操作灵活的特点,主要适合于高科技生产单位的以下场合: • 半导体开发 • 集成电路开发 • 真空电子行业 • TEM、SEM样品及支架清洗 • 生命科学实验 迪纳等离子清洗/刻蚀机具有以下特点: • 可以更灵活地操作,简便地改变处理气体的种类和处理程序。 • 不会对操作人员的身体造成任何伤害。 • 其成本对于等离子处理方法来说是微不足道的。 迪纳等离子设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理,能够改善材料表面的润湿能力,使多种材料能够进行涂覆、镀等操作,增强粘合力、键合力,同时去除有机污染物、油污或油脂。
2型等离子清洗/刻蚀机 * 真空舱体 φ100mm × L270 mm 水平 (2 升) * 不锈钢舱体 * 40KHz 射频发生器 * 高效针孔电极 * 铜气体管、气体流量计、针阀 * 使用气体流量计和针阀控制气体 * 自动计时器控制等离子处理过程 * 半自动控制 * 功率可调 0-100W * 自动阻抗匹配 * 自由设置参数:处理时间、功率、气体 * 安全保护功能:真空触发、舱门锁 * 电磁阀保护,回流油雾不能进入舱体 * 规格:W345 mm×H220 mm× D420 mm * 电源220V/50Hz * 莱宝Leybold Type S1.5(1.5m3/h) 选装件 * 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器 * 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体
5型等离子清洗/刻蚀机 * 真空舱体 φ150mm × L320 mm 水平 (5 升) * 不锈钢舱体 * 40KHz 射频发生器 * 高效针孔电极 * 数字计时器可自动设定操作程序 * 皮拉尼真空泵可设定重复操作 * 铜气体管、气体流量计、 针阀 * 使用气体流量计和针阀控制气体 * 自动计时器控制等离子处理过程 * 半自动控制 * 功率可调 0-200W * 自动阻抗匹配 * 自由设置参数:处理时间、功率、气体 * 安全保护功能:真空触发、舱门锁 * 电磁阀保护,回流油雾不能进入反应舱 * 规格:W550 mm × H330 mm × D500 mm * 电源 220V/50Hz * 莱宝Leybold Type Trivac D2.5B (2.5 m3/h) 选装件 * 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器 * 硅酸盐舱体(外置环形电极)或石英舱体 注:1、一般的清洗5型标准配置和2级真空泵就能够满足要求。 2、其他特殊要求需事先说明 Tetra-8-LF型等离子清洗/刻蚀机 * 真空舱体 W160mm × H160mm × D320 mm (8 升) * 不锈钢舱体 * 40KHz 射频发生器 * 高效针孔电极 * 数字计时器可自动设定操作程序 * 铜气体管、气体流量计、 针阀 * 使用气体流量计和针阀控制气体 * 自动计时器控制等离子处理过程 * 全自动控制 * 功率可调 0-300W * 自动阻抗匹配 * 自由设置参数:处理时间、功率、气体 * 安全保护功能:真空触发、舱门锁 * 电磁阀保护,回流油雾不能进入反应舱 * 规格:W600mm × H600mm × D600mm * 电源 220V/50Hz * 莱宝Leybold Type Trivac D4B (4 m3/h) 选装件 * 13.56 MHz 射频发生器 * 2.45 GHz 射频发生器
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