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英国Quorum/Emitech K1050X射频等离子刻蚀清洗系统

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仪器简介:K1050X等离子处理单元由固态射频发生器结合调谐电路组成,同时两种处理气体流量针阀监控,全部或部分通气口控制。 它的腔室为圆柱形,样品装载为抽屉式抽拉系统,方便使用。 真空系统为旋转机械泵或可选用膜片泵作为前级真空的涡轮分子泵。

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