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CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
产品特点
双等离子清洗源
一机多用
高效低损伤
技术参数
产品型号
CIF-SEM
法兰接口
KF40
工作气压
0.3-3Pa
等离子电源
13.56MHz射频电源,射频功率5-100W可调,自动匹配器
气体控制
标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响
气源选择
根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择
真空控制
美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr
真空保证
真空计和电磁阀安全互锁
操控方式
7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面
电源/功率
220V,50/60Hz,300W
可选配件
可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min
质量保证
二年质保,终身维护
CIF扫描电镜(SEM)等离子清洗机,CIF-SEM
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等离子表面处理仪是有用的对外表进行清洗、活化和涂层的处理工艺之一,能够用于处理各种资料,包括塑料、金属或许玻璃等。 等离子表面处理仪是什么原理? 中性粒子的温度接近室温,这些长处为热敏性高分子聚合物外表改性供给了适合的条件。通过低温等离子体外表处理,资料外表发作多种的物理、化学变化,或发生刻蚀而粗糙,或形成细密的交联层,或引进含氧极性基团,使亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能分别得到
等离子清洗机实际上是一个表面处理系统,配置的兼容性非常重要,要想工作稳定,每一个零部件的运行都不能出任何差错。尤其是对于UPH要求很高的工厂,一旦出现故障,又不能够及时排除,损失会非常大!我们今天根据多年的研发、生产及维护经验,整理出真空等离子清洗机常见的故障报警及处理方法。 1.等离子清洗机真空泵热过载保护,请检查线路和真空泵故障 ①出现此情况请首先观察系统参数设置有无变化,突然断电会引起系统参数归零,
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