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CIF扫描电镜(SEM)等离子清洗机

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参考报价: 面议 型号: CIF-SEM
品牌: CIF 产地: 中国
关注度: 524 信息完整度:
样本: 典型用户: 暂无
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AI问答
可以做哪些实验,检测什么? 可以用哪些耗材和试剂?

          CIF 扫描电镜(SEM)等离子清洗机采用远程、原位双等离子清洗源设计,并可自动切换,一机多用。远程等离子体清洗快速高效低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。

   

产品特点

  • 双等离子清洗源

  • 一机多用

  • 高效低损伤

技术参数

产品型号

CIF-SEM

法兰接口

KF40

工作气压

0.3-3Pa

等离子电源

13.56MHz射频电源,射频功率5-100W可调,自动匹配器

气体控制

标配双路50毫升/分气体质量流量控制器(MFC),精确测量自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响

气源选择

根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择

真空控制

美国MKS公司925-12010皮拉尼真空计, 测量范围1E-5Torr

真空保证

真空计和电磁阀安全互锁

操控方式

7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面

电源/功率

220V,50/60Hz,300W

可选配件

可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min 

质量保证

二年质保,终身维护



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注:该产品未在中华人民共和国食品药品监督管理部门申请医疗器械注册和备案,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

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