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P-7支持从几纳米到一毫米的台阶高度测量,适用于生产和研发环境。该系统可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
P-7建立在市场的P-17台式探针轮廓分析系统的成功基础之上。 它保持了P-17技术的卓越测量性能,并作为台式探针轮廓仪平台提供了极高的性价比。 P-7可以对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量,其扫描可达150mm而无需图像拼接。
台阶高度:几纳米至1000μm
微力恒力控制:0.03至50mg
样品全直径扫描,无需图像拼接
视频:500万像素高分辨率彩色摄像机
圆弧校正:消除由于探针的弧形运动引起的误差
软件:简单易用的软件界面
生产能力:通过测序,模式识别和SECS / GEM实现全自动化
台阶高度:2D和3D台阶高度
纹理:2D和3D粗糙度和波纹度
形状:2D和3D翘曲和形状
应力:2D和3D薄膜应力
缺陷复检:2D和3D缺陷表面形貌
大学、研究实验室和研究所
半导体和化合物半导体
LED:发光二极管
太阳能
MEMS:微机电系统
数据存储
汽车
医疗设备
重复性:≤4A (0.10%)
垂直分辨率: 0.01A
水平分辨率(X): 0.025 um
水平分辨率(Y): 0.5 um
采样率: 5~2000 Hz
垂直线性度:
士0.5%>2000A.
10As 2000 A
针压范围: 0. 03~50 mg
大测量长度: 150 mm
(无需拼接)
扫描速度:2 um/s - 25 mm/s
P-7 台阶仪 , P-7
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Profilm 3D光学轮廓仪
P-7 台阶仪
Alpha-Step D-500台阶仪
P-17 台阶仪
P-170 台阶仪
探针式台阶仪的功能及应用探针式轮廓仪(台阶仪)主要用于材料的结构及表面解析,在微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、医疗、科学研究和材料科学领域大显身手。同时按照应用的领域不同,要求不同,台阶仪的型号也多种多样,下面以我们优尼康提供的一款型号为P-17的台阶仪为例,简单介绍下这款仪器的功能以及应用,以供大家参考了解台阶仪可以做什么,有哪些功能,该型号为常用款,如有更高需求也可以咨询我们,会为大家推荐更合适的机台。主要功能有:·台阶高度:几纳米至10
4月30日线上直播《关于优尼康:薄膜厚度及表面轮廓测量专家》
台阶仪相关知识科普优尼康微课堂:什么是台阶仪?台阶仪属于接触式表面形貌测量仪器,也叫探针式表面轮廓仪。台阶仪测量精度较高、量程大、测量结果稳定可靠、重复性好,被广泛应用在各行各业。 测量原理:当触针沿被测表面轻轻滑过时,由于表面有微小的峰谷使触针在滑行的同时,还沿峰谷作上下运动。触针的运动情况就反映了表面轮廓的情况。 台阶仪性能优劣取决于以下三个方面:测试重复性、测试速度以及操作难易程度。这些因素决定了实验数据的质量和实验操作的效率。&
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