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CIF推出全新一代CPC-G系列小型等离子体清洗设备,颠覆传统设计理念。新设备采用顶置真空仓,上开盖下压式铰链开关方式,上置式360度自由取放样品托盘设计,具有较大的腔体尺寸和样品处理面积,使用成本低,性价比高,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室使用。产品特点:u 数字流量计控制,控制更准确。u 电容式等离子激发方式。u 符合人体功能学的60度倾角操作界面设计,操作方便,界面友好。u 顶置真空仓,上开盖设计,下压式铰链开关方式。u 上置式360度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。技术参数型号:CPC-GCPC-G plus舱体尺寸:H120xΦ270mmH120xΦ270mm舱体容积:6.8L6.8L射频电源:40KHz13.56MHz匹配器:自动匹配自动匹配射频功率:10-300W可调10-150W可调气体控制:质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路)有效处理尺寸:Φ270mm圆盘产品尺寸:L525xW425xH345mm包装尺寸:L645xW540xH560mm 时间设定:1-99分59秒真空泵抽速:4-8m3/h气体稳定时间:1分钟真空度:100pa以内电 源:AC220V50-60Hz
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