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特色和优点:- 第8代具有创新性的先进技术,实现了从纳米线操作到TEM样品制备,再到电学和机械测量的各种应用- 3轴样平台可以沿任意方向线性移动(全向性),在任何样品倾斜角度下都能实现正交导航- 可以将样品快速旋转到特定角度,并且可以在大范围内执行平稳而精确的操作- 即使在视野外,也始终知道探头尖端的位置- 在任意端口安装都可以预测移动行为- 可以轻松地调出存储位置,减少操作员疲劳,并提高成功率- 避免碰撞,气动插入/回缩- 链接到电镜软件(取决于OEM)内置能力,可为针施加最大+/-10V的偏压,用于电压衬度成像或其他应用- 同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像- 可以安全地完成样品旋转,没有任何碰撞的风险- 每次旋转后,不需要重新定位样品或探针尖端- 在FIB中,可以保证对针尖打磨的速率及简易性,以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性自动化系统:- 电脑和显示器- 2U机架式以太网控制器- 带有100nm线性反馈的3轴样平台运动控制软件界面- 用户手册和安装指南OmniProbe400:- OmniProbe400是第九代纳米操纵手,采用压电驱动技术,可以实现纳米级别的定位- 具有很高的灵活性和性能,是高分辨率和高效率的纳米操纵手- 可在大范围下轻松实现在SEM中的纳米级操作和测试以及在FIB中TEM样品的各种提取方案- 4个自由度(X,Y,Z,R);4毫米或更长的工作距离;4个与重现型及精确性有关的参数:编码器分辨率、电机分辨率、重复性、线性度- 精确性纳米分辨率压电马达和10nm闭环编码器提供专业水平的精度、线性度和平滑运动- 多级自动化可以减少操作步骤,快速获得结果- 可实现快速针尖打磨、针尖清洗和样品重新定位- 安全、精确地定位到样品附近的位置(该位置储存在系统中)以及回到初始位置闭环反馈控制:- 采用闭环控制,提供平稳的运动、可靠的精确度和高度的集成- 集成了电动同轴旋转和快速原位换针操作同轴旋转和换针:- 固定的、以及用户可编程的设置来减少操作员疲劳,提高成功率- 避免碰撞,同轴旋转原位换针无需放气即可在3分钟内完成换针- 避免大气污染,保持高真空以获得良好的性能- 可以安全地存储贴附到针尖的样品,以后可使用纳米级精度的定位:- 具有纳米级精度的定位- 延长的探针寿命- 精细的针尖具有明确的欧姆性质- 为利用范德瓦尔斯力进行纳米颗粒操作制备显微探针轻松制备平面样品、侧切样品和背切样品
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