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特色和优点包括第8代具有创新性的先进技术,实现从纳米线操作到TEM样品制备,再到电学和机械测量的各种应用。3轴样平台可以沿任意方向线性移动(全向性),在任何样品倾斜角度下都能实现正交导航。将样品快速旋转到特定角度,可以大范围内执行平稳而精确的操作,即使在视野外也始终知道探头尖端的位置。在任意端口安装都可以预测移动行为,可以轻松地调出存储位置,减少操作员疲劳,并提高成功率,避免碰撞。气动插入/回缩链接到电镜软件内置能力,可为针施加最大+/-10V的偏压,用于电压衬度成像或其他应用。同轴旋转分辨率可达0.1度,使样品在旋转期间一直处于相当于60um水平视场的放大倍率下成像。在FIB中可以安全的完成样品旋转,没有任何碰撞的风险,每次旋转后,不需要重新定位样品或探针尖端。这保证了对针尖打磨的速率及简易性,以改善电学特性表征的可靠性及对20nm以下特征样品尺寸进行操作时的精确性。自动化系统电脑和显示器,2U机架式以太网控制器,带有100nm线性反馈的3轴样平台运动控制软件界面。用户手册和安装指南。OmniProbe400采用压电驱动技术,可以实现纳米级别的定位。具有很高的灵活性和性能,是高分辨率和高效率的纳米操纵手。OmniProbe400可在大范围下轻松实现在SEM中的纳米级操作和测试以及在FIB中TEM样品的各种提取方案。具有4个自由度(X,Y,Z,R),4毫米或更长的工作距离,4个与重现型及精确性有关的参数:编码器分辨率、电机分辨率、重复性、线性度。压电马达和10nm闭环编码器提供专业水平的精度、线性度和平滑运动。多级自动化可以减少操作步骤,快速获得结果,插入位置固定,无需反复对中,无需放气即可在3分钟内完成换针。同轴旋转可实现快速针尖打磨、针尖清洗和样品重新定位,安全、精确地定位到样品附近的位置(该位置储存在系统中)以及回到初始位置。OmniProbe400采用闭环控制,提供平稳的运动、可靠的精确度和高度的集成。除了极高的移动精度,还集成了电动同轴旋转和快速原位换针操作,对于易碎的样品采用温和的非气动插入和收回操作。可沿任意方向直线移动(全向性),在任何倾斜样品处正交导航,将样品快速定向到特定角度,远距离执行平稳精确的操作,即使是在视野外,始终知道探头尖端的位置。使用固定的、以及用户可编程的设置来减少操作员疲劳,提高成功率,避免碰撞,同轴旋转原位换针无需放气即可在3分钟内完成换针。避免大气污染,保持高真空以获得良好的性能,可以安全地存储供事后使用,提高效率,同轴旋转针尖始终保持在视野内,延长的探针寿命。精细的针尖具有明确的欧姆性质,可以轻松制备平面样品、侧切样品和背切样品。
牛津仪器电镜制样, 牛津仪器 OmniProbe系列纳米操纵手
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