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【技术参数】样品室玻璃腔体尺寸为120mm×120mmH,采用高强度不锈钢结构(也可选150mm×165mm)。样品台尺寸可容纳12个标准钉形样品台,高度可在60mm内调节。溅射头为低电压平面磁控管,靶材更换快速。可使用直径为57mm×0.1mm厚度的溅射靶材,如环绕暗区护罩溅射的金、铂、金/钯、铂/钯、银等靶材。溅射控制系统采用微处理器控制,可以远程感应电流/电压,最大电流为40mA。具有真空安全联锁装置和过流保护功能。真空度范围为Atm-0.001mb,电流范围为0–50mA。控制方式具有自动气体换气和放气功能,并带有数字定时器,范围为0-300s。工作媒介为氩气,纯度最低为99.9%,工作电压为220V,50/60HZ。可选配膜厚监控仪,通过6MHz石英晶体进行原位监控,显示纳米级厚度,精确到0.1nm。适用于配套Zeiss,JEOL,Hitachi,FEI,Tescan,Phenom等扫描电镜。【产品详情】Agar全自动喷金仪(离子溅射仪)是英国进口设备,操作简便,适用于扫描电镜样品制备,可喷金、铂、金/钯、铂/钯、银等。使用小贴士:1)对于需要溅射喷金的样品,一类是对电子束敏感的样品,另一类是非导电的样品。在扫描电镜成像时,溅射材料可以增加信噪比,从而获得更好的成像质量;2)常用的溅射材料为金,可用于消除荷电效应。当需要超高分辨率成像时,首选高真空喷金仪,也可选用其他溅射材料如铬、铱等,溅射的晶粒更细小。
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