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专为TKD分析设计的样品座,TKD是透射菊池花样演示分析技术,用于检测十几纳米尺度的EBSD分析方法,提高了空间分辨率。该样品座方便用户将超轻薄样品放置于SEM中,并符合光学原理的衍射花样,确保获得更加准确的信号量。TKD分析仍使用原有的EBSD软硬件,只是样品更薄且经过电解抛光穿孔。由于衍射信号来自样品下侧几个或几十个纳米厚度的区域,该技术也被称为透射EBSD(T-EBSD)。样品薄区的衍射范围较小,样品与探测器及极靴的几何位置是否理想是获得有效信号的必要条件之一。因此设计专门的样品座进行TKD分析就显得尤为重要。TKD样品座是专为超薄样品设计,易于固定且符合光学原理。置于SEM中,即可使用AZtecEBSD系统轻松方便的实现高分辨的EBSD分析。
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