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能够适用于300mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号,可实现反射透射兼用的多种观察方法,包括明视场观察和荧光观察。在切换物镜时能够自动调节连动的亮度和光圈,为使用者提供舒适的检查环境。配备有14×12英寸的载物台,适用于大型样本。半导体/FPD检查显微镜MX61L提供了多种观察影像实例,包括晶圆(明视场观察)、晶圆(暗视场观察)、晶圆(微分干涉观察)和彩色滤色片(透射观察)等多种观察方法。此外,该显微镜还配备了光学系统UIS2光学系统(无限远校正)和反射照明100W卤素/100W水银/75W氙透射照明等多种功能,以及手动和电动的行程和微调功能。整体外形尺寸为710(W)×843(D)×507(H)mm,重量为51kg。
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