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适用于300mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用)可实现多种观察方法,包括明视场观察和荧光观察。在切换物镜时,自动调节连动的亮度光圈等,确保舒适的检查环境。配备14×12英寸载物台,适用于大型样本。半导体/FPD检查显微镜MX61L能够实现多种观察方法,包括明视场/暗视场/微分干涉/简易偏振光/荧光反射/透射反射/透射照明装置等。照明系统包括反射照明和透射照明,可以实现电动或手动对焦。观察筒具有广角视场和倒置双目/三目观察筒以及正像三目观察筒等多种选项。外形尺寸为710(W)×843(D)×507(H)mm,重量51kg。
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