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能够适用于300mm晶圆和17英寸FPD玻璃基板的电动型号(反射透射兼用),可以实现多种观察方法,包括明视场观察和荧光观察。在切换物镜时能够自动调节连动的亮度和光圈等,提供舒适的检查环境。配备14×12英寸的载物台,适用于大型样本。半导体/FPD检查显微镜MX61L具有光学系统UIS2(无限远校正),可实现明视场、暗视场、微分干涉、简易偏振光、荧光反射、透射反射等观察方法。照明系统包括反射照明和透射照明,对焦单元可以电动或手动操作。观察筒有不同型号可选,外形尺寸为710(W)×843(D)×507(H)mm,重量为51kg。
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