牛津仪器新版AZtecEBSD软件介绍-1 —— 采集之更新

一. 前言

牛津仪器一直以来致力于微观分析技术的发展和进步，不断研发升级，为用户提供功能更强大，使用更方便的软硬件系统。作为一款集成EDS、EBSD和WDS的软件，AZtec于2021年6月发布5.1版本。相比前一代5.0版本，虽然只是个小版本号的升级，但是针对EBSD的采集及数据后处理，均有不少改进和功能更新。

EBSD采集部分的更新有：

专门的TKD分布图导航工具栏，使得 TKD分析更易操作、更高效

花样动态阴影掩模（TKD、3D EBSD、断口和不平样品分析时会用到）

EBSD数据后处理部分的更新有：

母相晶粒分析

SEM图像查看器

畸变、漂移矫正

晶粒参数相关性分析

用户管理的库

更多细节改进

我们将通过两篇文章分别为大家介绍采集与数据后处理新增的功能，本文主要介绍第一部分：采集之更新

二. 专门的TKD分布图导航工具栏

和常规的EBSD分布图导航工具栏一样，TKD分布图导航工具栏依序分为6个步骤：

样品描述

扫描图像

优化花样

优化解析器

采集分布图数据

构建分布图数据

TKD分布图导航工具栏

1.  样品描述

在样品描述中，增加了常见的TKD预倾台模型，以帮助用户选择正确的预倾台预倾角度，包括：-90度，-45度，-20度和0度。其中-20度或0度是常见的TKD预倾台角度。样品总的倾转角度为预倾台预倾角度加上电镜样品台的倾转角度，如果为负角度数，也不再显示提示信息。

如果对样品参考取向有要求，那么在新的样品描述页中，样品的放置方向（CS0）和采集参考坐标系（CS1）之间的关系更容易选取，设置合适的RD-TD-ND对应关系即可。

TKD样品几何条件设置界面

2.  扫描图像

AZtec除了可以采集电镜中获取的二次电子（SE）和背散射电子（BSE）图像，还可以采集来自于EBSD探测器前端选配安装的前散射探测器（FSD）图像。常规的FSD图像根据FSD的位置，可以获得原子序数衬度图（上部FSD）和取向衬度图（下部FSD）。通过下部FSD通道叠加颜色，还可以得到彩色的FSD图像。对于TKD样品来讲，下部FSD采集的图像其实也是一种暗场像（Darkfield, DF）。它提供了样品的厚度、晶体取向、和原子序数的衬度。如果将下部FSD采集的图像信号相减，那么就能获取到取向暗场像（Oriented Darkfield，ODF），能揭示更明锐的晶体取向信息。

利用FSD探测器采集的暗场像（DF）和取向暗场像（ODF）

3.  优化花样

TKD花样由于样品的原因，局部偶尔会有遮挡，形成阴影，其边缘会干扰衍射带的检测，影响最终的标定。同样的问题也可能发生在3D EBSD、断口和不平样品表面的数据采集。在AZtec5.1中，除了常规的静态背底和动态背底，增加了动态阴影掩模扣除背底的选项，能有效排除掉阴影对于衍射带检测的干扰。

有阴影遮挡的花样

衍射带检测在阴影边缘，而非衍射带上，无法正确标定

用动态阴影掩模扣除背底后，更准确地检测到衍射带，顺利标定

4.  采集分布图数据

AZtec5.1新增加了多边形工具，来设置采集区域，这样能帮助定义不规则的TKD采集区域。定义了多边形以后，需要

定义多边形采集区域，可以快速预览TKD样品的整个薄区，方便选取感兴趣

以上为AZtec 5.1数据采集软件更新的主要内容，带来了更便利的TKD数据采集和更准确的标定。下一期我们会主要关注EBSD数据后处理的新功能介绍。