纳米压印技术
Nanonex由纳米压印领域先行者、普林斯顿大学周郁教授（Prof. Stephen Y. Chou）于1999年创立，其核心技术为周教授的研究团队历时八年、花费数百万美元科研经费完成的专利技术，随后Nanonex经过自身的研发迅速地将纳米压印设备推向市场，如今Nanonex产品已广泛地被科研与工业界所接受。现在除了Nanonex自身不断发展的技......
仪器简介：纳米压印（NIL，Nano Imprint Lithography）是一种纳米微制造技术，利用该技术，可以将由电子束直写（e-Beam Lithiography）或聚焦离子束（FIB）技术制备的模具的纳米结构通过“印章”的办法转移到基底材质上。纳米压印技术非常重要，产生的压力必须均匀......
仪器简介：应用 用于热力纳米压印的图章 用于紫外纳米压印的图章 纳米压印工具的图章供应商 聚合体铸件的模子 技术参数：设计参数 50mm直径内可有9个图案区域 每个图案区域具有4个不同尺寸的图案，以及200μm的间隙 四种......
纳米压印设备之热压印：EVG510HE 一、 简介 EVG公司成立于1980年，公司总部和制造厂位于奥地利，在美国、日本和台湾设有分公司，并在其他各地设有销售代理及售后服务部，产品和服务遍及世界各地。EVG公司是一家致力于半导体制造设备的全球供应商，其丰富的产品系列包括：涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩......
产品特点：JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统，兼具世界zei高水平的产出量和定位精度，zei大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版，适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。此外，由于具有100MHz的zei快扫描速度，场尺寸在1000µm×1000µm时的套刻精度达到±11nm、场拼接精度为±10nm、写场内位置精......
荷兰SCIL公司简介 荷兰SCIL公司是全球知名的纳米压印设备供应商，是荷兰飞利浦公司投资的高科技公司之一，专利的“SCIL基底保形压印光刻”技术，结合了小面积硬压与大面积软压的优势，真正意义上实现了12寸晶圆高质量无基底损伤保形的纳米压印，已成功用于12寸量产线，已经被国际上很多知名fab厂采用。 &......