产品特点:JBX-9500FS是一款100kV圆形束电子束光刻系统,兼具世界zei高水平的产出量和定位精度,zei大能容纳300mmφ的晶圆片和6英寸的掩模版,适合纳米压印、光子器件、通信设备等多个领域的研发及生产。此外,由于具有100MHz的zei快扫描速度,场尺寸在1000µm×1000µm时的套刻精度达到±11nm、场拼接精度为±10nm、写场内位置精......
纳米压印的技术与工艺特点,独创性地设计和制备工作于低真空环境下,结合正负压可控调节并利用压缩空气作为压印驱动力的,通过压力传导装置、缓冲与匀压、压力调节控制装置等手段实现平稳可靠可控的压印过程,借助于多种灵活的自动调节装置的巧妙设计与运用,实现压印中的自动找平调控,以保证模板纳米图案均匀精确的大面积复制转移。 ......
纳米压印设备之热压印:EVG510HE 一、 简介 EVG公司成立于1980年,公司总部和制造厂位于奥地利,在美国、日本和台湾设有分公司,并在其他各地设有销售代理及售后服务部,产品和服务遍及世界各地。EVG公司是一家致力于半导体制造设备的全球供应商,其丰富的产品系列包括:涂胶和喷胶/显影机/热板/冷板、掩......
Park SmartLitho™Park SmartScan™ 的友好型界面支持用户进行纳米光刻和纳米操作SmartScan 可以自动进行成像所需的所有操作,并智能地确定最佳的图像质量和扫描速度。 Park的专有技术实现了SmartScan的自动化测量。可以帮助用户在最短时间内获得最佳的实验成果。最简易的纳米光刻和纳米操作的智能化软件由Smart......
Nanonex由纳米压印领域先行者、普林斯顿大学周郁教授(Prof. Stephen Y. Chou)于1999年创立,其核心技术为周教授的研究团队历时八年、花费数百万美元科研经费完成的专利技术,随后Nanonex经过自身的研发迅速地将纳米压印设备推向市场,如今Nanonex产品已广泛地被科研与工业界所接受。现在除了Nanonex自身不断发展的技......
仪器简介:应用 用于热力纳米压印的图章 用于紫外纳米压印的图章 纳米压印工具的图章供应商 聚合体铸件的模子 技术参数:设计参数 50mm直径内可有9个图案区域 每个图案区域具有4个不同尺寸的图案,以及200μm的间隙 四种......