滨松指尖大微型光谱仪C12666MA获2015年“BCEIA 新产品”

2015年10月27日晚, 第十六届北京分析测试学术报告会暨展览会（BCEIA 2015）暨BCEIA 30周年招待会在北京国家会议中心举行，多个年度奖项在此得以揭晓。融合了MEMS技术，具有极致微小身姿的的滨松指尖大微型光谱仪C12666MA，被宣布获得2015 年“BCEIA新产品”，由中国分析测试协会理事长张泽院士颁发荣誉证书。

颁奖现场

C12666MA微型光谱仪

“BCEIA新产品”每两年评选一次，面向国外厂商近年在全球范围推出的高新技术产品。滨松C12666MA微型光谱仪于2013年12月推出，是一款基于滨松MEMS和图像传感器技术开发的超级凑（只有指尖大小）的光谱仪。产品的大小为20.1 × 12.5 × 10.1 mm，重量为5g，光谱响应范围在340 到780 nm，光谱分辨率最大为15nm。密封封装是金属-金属或者玻璃-金属焊接的气密性封装，能够保护内部组件并隔绝湿度。

BCEIA 2015中展出的DEMO与产品获奖证书

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滨松通过重新审视光学设计和组成部分，优化MEMS技术并简化结构，来实现体积的缩小。滨松C12666MA微型光谱仪包括三个部分，一个光线可以进入的狭缝，一个光谱衍射光栅和一个探测光的图像传感器。
利用MEMS干法刻蚀技术形成让光通过到达图像传感器的狭缝。集成了入射狭缝的图像传感器是其体积大大缩小的一大原因，入射光经光栅衍射后，短波长光到达入射狭缝位置很近。如果狭缝和传感器是分离的，需要极高精度的定位，否则会降低光谱性能。和传感器集成的狭缝则不存在此定位问题。
另外，还给集成了入射狭缝的图像传感器增加了截止滤波片，能够去除多重反射光和衍射光等杂散光分量的滤波片，却不影响被测光。 另外，C12666MA使用了称为纳米压印的精细成型技术形成衍射光的光栅，在尺寸和性能方面都具有良好的表现。通过重新评估将光栅作为独立单元制造来代替在玻璃透镜上形成光栅的可能性，减少了生产光栅的玻璃，也降低了成本。

该光谱仪可用于便携式色度计和打印材料的颜色检测、测量相关色温和显色性、LED的调光等，更重要的是，其适于与可移动设备联合，比如智能手机和平板，进行光谱测量，应用于医疗、环保等领域，其主要满足客户开发用于消费电子产品的光谱仪应用。小巧的外形，也使得其可以为设备的便携化作出贡献。

滨松微型光谱仪C12666MA应用示例

如今C12666MA的下一代C12880MA产品也已经推出，具有更宽的光谱响应范围和更高的灵敏度。在今后，滨松也将继续致力于该技术的研发，并陆续推出更多具有高性能的微型化产品。“Prism Award”（棱镜奖）