电子科技大学 原子层沉积系统

原子层沉积系统(ALD)

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原子层沉积(ALD)

型号:Savannah 100/200

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仪器简介:原子层沉积(ALD)简介:  原子层沉积(Atomic Layer Deposition,ALD),zei初称为原子层外延(Atomic Layer Epitaxy,ALE),也称为原子层化学气相沉积(Atomic Layer Chemical Vapor&......

仪器简介:全球zei专业的原子层沉积系统ALD制造商,十多年来一直致力于ALD核心技术的研发,迄今拥有数十项注册专利在ALD的设计和薄膜制备工艺方面,并长期与全球著名的高校、研究所以及半导体、微电子领域的制造商合作; 原子层沉积技术可沉积材料: 氧化物: Al2O3, ZrO2, HfO2, Ta2O5, SnO2, RuO2, ZnO, S......

台式三维原子层沉积系统ALD                           &nbs......

THEIA 超快平面原子层沉积系统THEIA 是一款高性能,稳定,灵活,可靠且安全的研发型原子层沉积系统,兼具工业生产解决方案的优势。THEIA 可进行升级改造,从而满足科学研究的各种需求,并实现从“研发”到“生产”的无缝衔接。产品规格1. 专利技术 SMFD-ALDTM 超快沉积:12-30 nm/min2......

PANDORA 多功能台式原子层沉积系统很多人相信,潘多拉的魔盒还埋藏着尚未开发的宝物——希望!正是基于对于新技术应用的美好愿景,Forge Nano 开发了 PANDORA 台式原子层沉积系统, 这一工具巧妙地将粉末原子层沉积技术和平面原子层沉积薄膜技术结合,是绝无仅有的高效研发工具。使用者可轻易地在粉末与......

PROMETHEUS 流化床原子层沉积系统粉末包覆可有效提升材料性能与使用寿命,如锂电正极或负极材料,经过表面包覆处理后在放电性能及循环使用寿命方面都有明显提升,但目前工业的包覆手段以机械混合的干法为主,该方法包覆均匀性较差,性能提升有限。ALD 技术可实现高精度及均匀包覆,是理想的包覆手段。Forge Nano 针对粉末类材料比表面积大......

全自动进样设计,可容纳8英寸基片。优化的辐射加热系统,使温度均匀性高达99%,气流优化设计结合前驱体瓶加热,管路加热,不仅实现在8英寸基体上膜厚的不均匀性<±1%,而且更适合对超高长径比的孔径结构等3D结构实现均匀薄膜覆盖,可实现微纳深孔内部的均匀沉积,是先进电池材料、催化剂材料、半导体器件研究与应用的最佳仪器。技术参数腔室真空度:≤ 5 Pa真空系统:抽速......

赛默飞原子吸收iCE 3500用于测定土壤,沉积物,符合行业标准GB 17378.3 海洋监测规范 第 3 部分:样品采集、贮存与运输 GB 17378.5 海洋监测规范 第 5 部分:沉积物分析 HJ 494 水质 采样技术指导 HJ 613 土壤 干物质和水分的测定 重量法 HJ/T 91 地表水和污水监测技术规范 HJ/T 166 土壤环境监测技术规范......

赛默飞原子吸收光谱仪iCE 3500可以用在土壤行业领域,用来检测铍,可完成土壤,沉积物项目。符合多项行业标准国标。 本文采用全新的 iCE 3500原子吸收光谱仪,以国家环境保护部HJ 737-2015方法为指导,采用硝酸、盐酸、氢氟酸体系,微波消解前处理方法,使用磷酸氢二铵硝酸钯混合试剂做为基体改进剂,在硝酸介质中,通过对样品前处理方法、仪器条件、石墨炉......

Arradiance三维原子层沉积系统 ALDGEMStar-4/6/8 XT适用于周期有序微格结构项目,参考多项行业标准Citation: APL Mater. 1, 022106 (2013); doi: 10.1063/1.4818168。可以检测Au, Cu等薄膜材料等样品。可应用于高分子材料行业领域。 通过高分子网状模板沉积不同薄膜材料(Au, C......

厂商新闻
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