产品特点:JEBG系列大功率电子枪是用来在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源,能在宽幅塑料及大面积玻璃基板上持续、高速率地镀膜,还可应用于电子束熔炼,用于高熔点金属铸锭的制备及精炼。电子束能大范围地快速扫描,通过专用的控制装置和软件,能生成各种电子束照射图形和区域。由于能够在各个照射位置上设定扫描、停留时间、输出功率及电子束形状,因而能够控制熔......
产品特点:JEBG系列大功率电子枪是在真空中蒸发或熔解金属及氧化物的大功率电子束发生源,能在不断输送中的宽幅塑料和大面积玻璃基板上高速率地连续镀膜,此外在电子束熔炼时,可用于高熔点金属锭的生产及提纯。电子束能大范围地快速扫描,通过专用の控制装置和软件,能生成各种电子束照射图形和区域。由于能够在各个照射位置上设定扫描、停留时间、输出功率及电子束形状,因而能够控......
BS/JEBG/EBG 系列电子枪用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。产品特点:用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。电子束蒸镀法的特征用电子束直接照射镀膜材料进行加热,因此热效率高,能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。镀膜材料在水冷铜坩埚内(*)被直接加热,因此不会象电阻加热式或感应加热......
产品特点:用于光学薄膜及电极膜等各种薄膜形成的电子束蒸镀用电子枪/电源。电子束蒸镀法的特征用电子束直接照射镀膜材料进行加热,因此热效率高,能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。镀膜材料在水冷铜坩埚内(*)被直接加热,因此不会象电阻加热式或感应加热式那样与坩埚发生反应。*可能需要使用坩埚内衬。能迅速控制输出,因而能精确地控制膜厚。与溅射法及 ......
电子束蒸镀法的特征用电子束直接照射镀膜材料进行加热,因此热效率高,能蒸发高熔点金属、氧化物、化合物、升华性物质等各种材料。镀膜材料在水冷铜坩埚内(*)被直接加热,因此不会象电阻加热式或感应加热式那样与坩埚发生反应。*可能需要使用坩埚内衬。能迅速控制输出,因而能精确地控制膜厚。与溅射法及 CVD 法相比,能快速镀膜是一大特征。对形成1µm 以上的厚膜也很有效。......
日本电子制造的电子枪/电源的特征[ 氧化物 ]电子束垂直照射镀膜材料,束斑近似圆形,具有能量密度高的特征。此外,由于标准配备了快速扫描功能,非常适合蒸镀融点高、热传导性低的氧化物及升华性材料,能获得良好的熔痕,大面积的镀膜区域上膜厚分布均匀,重现性好。[ 金属 ]坩埚的选择范围很大,能进行多种、大量、高速率的蒸镀,还有用来抑制成膜时温度上升的剥离工艺用电子枪......
产品规格:型号zei大输出功率偏转角度灯丝电子束扫描坩埚氧化物金属BS-60060DEBS6.4kW270°U字形(长寿命)快速扫描无*2◎○BS-60050EBS10kW270°无*2◎○BS-60040VDGN10kW270°无*2◎○BS-60030DGN10kW270°无*2◎○EBG-102UB6S10kW180°漩涡形12cc×6 个◎○EBG-......
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