解决方案|气相色谱法测定四甲基二乙烯基二硅氮烷和六甲基二硅氮烷纯度

2023-10-10 12:19:25 北京东西分析仪器有限公司

前言

硅氮烷是具有Si-N键的胺的硅类似物，是一种具有独特性能的有机化合物，在新材料领域有着广泛的应用，尤其是在半导体工业中的应用。但是，在硅氮烷类化合物合成过程中，反应条件往往十分苛刻，若生产过程中温度、压力控制不当，就可能导致产品中存在较高的杂质。因此，对硅氮烷类化合物纯度的准确分析，是对生产过程的有效控制，也是产品质量控制的重要内容之一。

精确确定材料中的杂质含量，测定硅氮烷类化合物的纯度是至关重要的，硅氮烷类纯度分析方法有多种，如色谱法、热分解法、热重分析法等，但色谱法是应用较为广泛的一种方法。采用气相色谱法测定硅氮烷类纯度，分析过程简单，分析速度快。本文根据T/FSI 012-2017的方法，经过检测条件的优化，建立了GC-4100气相色谱仪分别检测四甲基二乙烯基二硅氮烷和六甲基二硅氮烷纯度的方法。该方法重复性好，准确度高，可供相关人员参考。

GC-4100气相色谱仪

PART ONE

实验部分

仪器与试剂

GC-4100气相色谱仪（FID检测器）；

四甲基二乙烯基二硅氮烷；

六甲基二硅氮烷。

实验条件

样品处理

取1μL直接进样分析。

PART TWO

实验结果

四甲基二乙烯基二硅氮烷谱图

六甲基二硅氮烷谱图

PART THREE

实验总结

本文根据T/FSI 012-2017的方法，经过检测条件的优化，建立了GC-4100气相色谱仪分别检测四甲基二乙烯基二硅氮烷和六甲基二硅氮烷纯度的方法。实验过程中，使用了面积归一法定量。本文实验表明，该方法操作简单、线性及重复性良好，测试结果准确，可以满足硅氮烷类化合物的纯度测定需求，供相关人员参考。

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