使用CUBE系列扫描电镜进行异常点分析

案例一

样本为一个金属件，经过加工后物体表面有黑色的点状物质，这会导致产品性能受限。

使用CUBE系列扫描电镜拍摄后，从图像中只能看出金属件的表面确实有几十微米级别的黑色物质，并不能判断它的组成。所以又对该区域进行了面扫，从面扫结果中可以看出，黑色颗粒中的主要物质为碳。那么可以从中推断该黑色颗粒应该是加工过程中，油类物质掉在金属件上，从而导致的产品缺陷。

案例二

在工厂生产加工器件的过程中，会出现有碎屑掉落的情况。碎屑的尺寸较小，通常无法用常规光学显微镜判断，这时我们需要借助SEM来进行分析。

从图像中可以看出，碎屑的尺寸均小于1mm。

放大后再使用面扫进行元素分析。从面扫结果中，可以看出碎屑的元素主要有锰、铁、碳和氧等多种元素。用户根据铁和锰的比例可以判断碎屑的来源。