实测案例 | 半导体企业精密检测仪器故障原因排查

半导体行业生产设备有刻蚀、薄膜沉积、清洗、湿制、封装和测试、抛光、硅晶圆制造等设备，这些精密生产设备对工艺要求很高，例如对供电的稳定性和质量要求，对温度严格的监测和控制等

福禄克公司推出的新一代电能质量分析仪可帮助半导体及电子制造等敏感制造业：

1、日常维护供电质量，提早发现故障隐患，避免停机及降低废品率

2、快速排查故障原因，尽快恢复生产

某半导体生产企业车间安装了3套半导体测试设备，一台安装在正在运行的的生产测试线上，有专用的供电，供电质量很好，一直未出现问题

其余两台备用，用墙上的220V插座供电，故障率频发，损坏了多块开关卡。

该半导体测试设备里面的高精密矩阵开关，里面是继电器，是机械开关，漏电流很低。

该检测设备是执行高精度参数测试，适用于测量精度要求很高的场合，要求达到皮乏（PF）、皮安（PA）量级，因此该精密测试设备对供电环境也有较高要求。

故障表现是开关自检时报错，漏电流达到了微安量级。

仪器在现场持续监测了一周时间