2023-07-26 17:18:36 Park帕克原子力显微镜
原子力显微镜在
光掩模上的应用
在先进半导体制程领域中,光刻技术扮演着极其重要且关键的角色。其中,光掩模作为微缩图形的来源,如何确保其图形正确而不被缺陷所影响,缺陷检测与修复成了光掩模不可或缺的工序。
文中介绍原子力显微镜作为高精度纳米级定位与量测系统,可用来针对光掩模上的缺陷形貌、尺寸大小、定位缺陷位置与种类做进一步检验 (Defect Review),并生成三维形貌和其他关键性的计量数据,亦可作为电子束或是激光修补机台的定期机况监控,给予及时的制程条件反馈。
此外,原子力显微镜作为高精度探针操控平台,搭配适宜的高机械强度的探针,可针对光掩模上的图案缺陷进行纳米级微加工处理,将缺陷推动使之与光掩模材料结合力弱化,后续导入清洗工序可有效去除缺陷,亦可以直接将缺陷推移至无效区域,使其不干预光刻过程从而达到缺陷移除或修复之目的。
更甚者,可利用探针操控技术直接将缺陷从光掩膜上"叼起",不仅达到缺陷快速移除的目的,更能将叼起的缺陷做后续进一步详细物性分析,理清缺陷种类、材料、并加以推测可能污染来源机制,防范于未然。
2023年7月27日
下午02:00-03:00
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报告人介绍
林宏旻从事原子力显微镜行业工作20年,具有丰富的原子力显微镜使用经验,于2003年至2011年期间在纳米元件实验室(现名为中国台湾半导体研究中心)从事研究工作,积累了丰富的原子力显微镜的使用经验。无论是原子力显微镜在材料领域的性能表征还是半导体行业的计量,都具有丰富的实践经验。现为Park原子力显微镜大中华区原子力显微镜产品应用总经理,为Park客户提供专业定制AFM产品解决方案。
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