高功率激光镜片

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准分子激光反射镜

当准分子激光器用于紫外线范围时,光学元件会承受非常高的能量。此外,准分子激光器以脉冲模式运行并产生极短的脉冲和高峰值强度。由此,准分子激光反射镜必须具有高的损伤阈值和耐久性。准分子激光器是气体激光器,经常使用氟操作。如果一个光学元件暴露在工艺气体中,基板和涂层也必须基于氟,否则它们会溶解。

例如:准分子激光器的示意结构

准分子激光反射镜(用于248nm和351nm的偏转镜)

LAYERTEC生产用于所有准分子激光器的光学元件(F2激光器157nm,ArF激光器193nm,KrF激光器248nm,XeCl激光器308nm,XeF激光器351nm)。氟基准分子激光器的谐振腔镜和输出耦合镜由CaF2或MgF2基板与氟化涂层组成,也可直接接触激光气体使用。输出耦合镜通常提供高达R=50%的反射率。指定的反射率精度为±3%。

157nm和193nm的偏转镜也基于CaF2基板上的氟化层系统。这确保了高的损伤阈值和长的使用寿命。248nm以上的波长的偏转镜由石英玻璃基板上的紫外线兼容氧化层系统组成。光束输送光学元件可以设计为任何入射角。45°入射角的偏转镜作为标准组件提供。

中红外反射镜

中红外反射镜适用于中红外线范围(1.5-8微米)的激光辐射。此辐射特别适用于烃类和水的吸收。它主要用于医疗应用和塑料加工。

一方面,中红外线范围的波长是由约2微米(Ho:YAG激光器,Tm:YAG激光器)和3微米(Er:YAG激光器)的直接激光激发产生的。另一方面,它们可以通过光学参量频率转换(周期性极化的铌酸锂)产生,该转换没有直接的激光跃迁。这样的光学参量振荡器的发射范围延伸到约8微米的波长。

Er:YAG系统带有引导激光器

LAYERTEC生产用于中红外线范围的反射和透射光学元件系列。标准基板如熔融石英以及标准涂层材料在此波长范围内部分显示高吸收。为覆盖更广泛的波长范围,涂层设计得到特殊配置。

中红外反射镜是指用于中红外线激光的反射光学元件,如反射镜、偏转镜等。

激光谐振腔镜

激光谐振腔是激光器的核心。激光束在其中产生。它由一个全反射镜和一个部分反射镜组成。在它们之间是激光活性介质,它由泵浦机制激发。

端面镜几乎100%反射光。输出镜具有较低的定义反射率,并从谐振腔放出激光束。如果端面镜也充当耦合镜,它还具有防反射层以增加泵浦辐射。

光学腔的示意图

LAYERTEC为130 nm-7μm的所有激光器生产谐振腔镜。根据激光器类型,使用多年来证明有效的材料组合和设计结构。除了在线产品之外,根据客户要求制造个别特殊镜片。

不同谐振腔镜的范围

谐振腔镜是指激光谐振腔中的反射光学元件,端面镜用于将激光束反射回激光介质,输出耦合镜用于将部分激光束反射回激光介质和将部分激光束输出。

激光扫描镜

扫描镜组

激光扫描镜用于激光材料加工,以快速和灵活地移动激光束在工件上。它们的后部通常以片状铣出。由于这种特殊设计,它们非常薄和轻便,以实现快速改变方向。

激光扫描镜是LAYERTEC产品范围的重要组成部分。为此目的开发的层设计可提供高性能稳定性和必要的反射率角度不变性。特别是金属基面镜与介电层的组合,可增加功率激光的反射率,允许直接在加工区成像。

激光扫描镜是指用于快速和灵活地扫描或偏转激光束的反射光学元件,通常具有特殊的薄和轻便的设计,以实现高速扫描。它们用于激光材料加工中激光束的快速定位或扫描。

转向镜

45°-椭圆转向镜(所谓的“香肠切片”)在生产过程中(抛光过程)

偏转镜专门改变入射光的方向。通过选择涂层,可以为特定波长范围和特定入射角调整镜面反射率。此外,镜片可以针对振动方向(偏振)和高破坏阈值进行优化。

各种转向镜

LAYERTEC生产几乎所有入射角和偏振类型的偏转镜,无论是单波最优镜还是宽带镜。根据要求,例如适应高功率激光和/或短脉冲是可能的。此外,涂层可以计算最大反射率的最低损失或定义剩余透射率。

转向镜是指用于改变入射光方向的反射光学元件,如偏转镜、折射镜等。通过选择不同的涂层,转向镜可以为不同的波长范围、入射角以及偏振方向设计。它们广泛用于激光器中激光束的方向改变。

LAYERTEC生产几乎所有类型的转向镜,包括单波最优转向镜、宽带转向镜,以及可以根据客户要求针对高功率激光优化设计的转向镜。

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