新品抢先看|卓立汉光应邀参加第十届中国半导体设备年会
2022-10-27 18:10:26, 光电行业都会关注 北京卓立汉光仪器有限公司
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新品推荐
压电精密位移系列
卓立携手合作伙伴“多场科技”提供线性，旋转，摆角，扫描的压电超精密运动控制产品。产品最小单步步长可达10nm，并使用20kHz超声频段驱动，不会产生刺耳的运动噪声，配备高精度光学或电容传感器，可以实现纳米至亚纳米量级的高精度运动控制。全系产品均可提供超高真空兼容版本以及完全无磁版本以满足特殊工况要求。
基本运动模块覆盖
01 线性移动（闭环） 02 旋转（闭环）
03 摇摆（闭环） 04 纳米扫描运
半导体参数测试仪
SPM300系列半导体参数测试仪
基于拉曼光谱法的半导体参数测试仪，具有非接触、无损检测、特异性高的优点。可以对半导体材料进行微区分析，空间分辨率＜ 800nm （典型值），也可以对样品进行扫描从而对整个面进行均匀性分析。设备具有智能化的软件，可对数据进行拟合计算，直接将载流子浓度、晶化率、应力大小或者分布等结果直观的展现给用户。系统稳定，重复性好，可用于实验室检验或者产线监测。
显微尺度的少子寿命成像测试仪FLIM
RTS2-FLIM系列显微荧光寿命成像系统由科研级正置显微镜，配合多波长光路转换机构，实现一套系统多波长激发的灵活应用，适应不同样品测试需求。
SPM600系列半导体参数分析仪
SPM600系列半导体参数分析仪是一款专用于半导体材料光电测试的系统。其功能全面，提供多种重要参数测试。系统集成高精度光谱扫描，光电流扫描以及光响应速率测试。
晶圆级大尺寸的少子寿命成像测试仪
4、6、8英寸晶圆样品测试，可在此基础上增加小行程电动位移台实现数百纳米至微米尺度的精细扫描。
往期回顾
32期名师讲堂 |实时三维数字图像变形测量方法与应用，9月27日重磅来袭！
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