ICP-MS测电子级氢氟酸杂质含量的检测方案

美析ICP-MS6880电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS)

精密微量移液器及洁净的聚丙烯（PP）吸头

精密微量移液器量程: 10u L-100uL，100uL-1000uL。

全氟烷氧基树脂(PFA)瓶

实验用水符合GB/T 11446.1规定的EW-Ⅰ级电子级水。

超纯硝酸，金属离子含量不大于1ug/L。

标准溶液

使用有证多元素溶液标准物质或按GB/T 602规定制备，互有化学干扰、产生沉淀及互有质谱干扰的元素应分组配制。分组实例见表1，表中所用溶液以“%”表示的均为质量分数。

表1

气体

高纯氩气、高纯氨气，纯度不低于99.999%或其他仪器要求的气体。

测定条件的选择

按GB50073规定，推荐在洁净度等级为2级的环境中操作。

入射功率一般范围为500 W~1 500 w。

按炬管和分析要求，确定各气体流量。所用的氩气应符合GB/T 4842的要求。

冲洗时间和扫描时间由仪器和分析要求来确定。

电子化学品中金属离子的浓度以“ω”计，数值以“ug/kg”表示，按公式计算:

式中:

c—曲线外延与横轴相交的截距的绝对值，单位为微克每千克(g/kg)﹔

m—试样溶液质量的数值，单位为克（g):

mo——样品质量的数值，单位为克(g)。

精密度、结果

在相同条件下测定同一批次产品的3个样品，其结果的相对标准偏差RSD≤10%，记录平均值。

产品介绍

电感耦合等离子体质谱仪(简称ICP-MS），是20世纪80年代发展起来的一种新的微量、痕量和超痕量元素分析技术。ICP-MS可测定元素周期表中大部分元素，且具有极低的检出限、极宽的动态线性范围、谱线简单、干扰少、精密度高、分析速度快等性能优势，上海美析仪器是国内较早开发ICP-MS的厂家，拥有国内最资深的ICP-MS研发团队，努力打造优质的ICP-MS产品。

ICP-MS6880是自主研发产品，仪器各项性能均优于国家规范，完全满足不同行业用户应用需求，性价比高；而且具有卓越的仪器性能，高效的分析效果。仪器日常运行消耗器材成本低。

性能特点

◇集成气路模块，减少气路接头，轻量化、模块化，保障仪器便于移动工作

◇自主研发的固态电源可以保证仪器在多种模式（如常规模式、冷等离子体模式）下运行，并且在同一方法中允许运行多种模式，节约大量分析时间及方便研究。

◇采用主流化市场设计，为用户特别是第三方检测用户大大节省了仪器占用空间，也为未来实现车载应用，增加了可能性。

◇自动匹配功能卓越的固态光源，有效的限制了离子化过程中离子的扩散，保证了离子的聚焦性和极高的通过率。带偏转的离子光学系统保证了最佳的离子聚焦效果，有效的降低了背景噪声，提高了信噪比。

◇采用热电原装的一体式石英同心炬管，避免拆卸式矩管的繁琐操作以及可能由此导致的损坏；

◇仪器配置了灵敏度极高的光纤传感器，可在仪器工作状态下，实时监测火焰的工作情况，如遇异常熄火情况，可自动关闭仪器。

◇雾室与旋流雾室的分体式设计，较少了燃烧室内温度变化带来的雾化效率的影响，更加直观的观测实时的进样状态。配合专利技术的加长型雾室，有效进行气液分离，较少水蒸气的干扰。

◇仪器工作中的等离子气、辅助气、载气全部采用高精度的进口质量流量控制器（MFC）来控制，具有流量连续可调、输出气流的精度高，保证了测试数据的准确性。

◇蠕动泵为十二转子四通道全自动设计，蠕动泵转速可根据需求流量设置调节；可满足客户在线样品稀释和在线添加内标的特殊使用要求。

◇接口室由采样锥、截取锥两部分组成。标准配置包含采样锥（锥孔1.1mm），和具有优秀耐盐性能的截取锥（锥孔0.75mm）；另可根据用户实际需求选配高灵敏度截取锥；

◇中英文快速切换软件界面，“一键式”参数设置直观快捷，提高了用户的工作效率，也提供自动控制仪器及其附件的能力，完美适应Windows 专业操作系统

◇美析仪器遍布全国的服务网络，我们10分钟响应、48小时内上门服务、客服中心随时跟踪服务、保证服务质量

技术指标

质量数量范围：2~260 amu

测量范围：≥109

灵敏度：Li≥50；In≥180；U≥200（Mcps/ppm）

检出限：Li≤2；In ≤0.1；U≤0.1（ppt）

分辨率：0.2~2.0amu

信噪比：≥50×106

背景噪音：≤2 cps（全质量范围）

质量轴稳定性：≤0.05 amu/24 h

稳定性RSD：短期≤2%；长期≤3%

氧化物离子：CeO+/Ce+≤2.5%

双价离子：69Ba2+/138Ba+ ≤3%

同位素比：（107Ag/109Ag）≤0.2%

丰度灵敏度：≤1×10-6低质量端；≤5×10-7高质量端

应用领域

高校、质检中心、环境监测站、企业、农业系统、地质地矿、环境保护、地质冶金、电子电器、食品安全、化工制药等。