明尼克钝化产品系列应用文集精选（六）

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导读

导读：自2021年3月26日起明尼克公众号陆续刊发了钝化产品应用文集精华篇，对之前刊发的技术资料和解决方案作了系统回顾，现已成为客户朋友探索钝化技术应用及选型的重要参考。

精华篇前五辑推出后受到业内的大量关注和好评，后续我们也将以各种形式继续为推广普及该项技术而不懈努力，为广大分析工作者提供全方面支持与服务。

本期为系列精华篇的第六辑，对SilcoTek技术CVD涂层作了专业分析，CVD涂层可喷涂精密和复杂材质表面，包括密封区域和内部表面，能承受低温、高温和极端温度变化，涂层在高应力环境中也能和基材保持结合，在材料表面应用领域具有巨大技术优势，详情敬请关注！

精选文集

精华篇（9）：钝化产品CVD涂层特点及优势分析

钝化技术是以材料表面涂覆CVD涂层来实现的，CVD是一种通过化学气相沉积的方法应用于材料表面的技术。

CVD（化学气相沉积）是一种将挥发性前体（通常是在真空下）注入腔体内的反应过程，腔室加热到反应温度，使前体气体发生反应或分解生成所需的涂层并与材料表面结合。随着时间推移，涂覆材料建立在表面上并在暴露部分的表面形成涂层。

例如，如果想把硅附着在材料表面，需要使用三氯硅烷(SiHCl3)前体，当SiHCl3在腔室加热时，分解和涂层反应如下：

SiHCl3 → Si + Cl2 + HCl

硅将结合到任何暴露的表面（内部和外部），而氯气和盐酸气体将从腔室排放并根据适当的法规要求进行清除。

CVD涂层系统中使用的材料从硅化合物到碳化合物，到氟碳或有机氟，以及类似氮化钛这样的氮化物。一些材料如硅，可以通过掺杂表面（改变或添加额外的化学物质）来进一步增强涂层的功能，以达到特定的性能目标。

化学气相沉积不同于物理气相沉积（PVD）等其他常见的涂层应用方法，与化学气相沉积相比，大多数常见的涂层喷涂工艺会导致视线外盲区不均匀的涂覆存在，化学气相沉积涂层理论上可以应用于涂层气体能进入的任何区域，上图形象表示出两种涂覆的区别。

SilcoTek®公司CVD涂层工艺的特点：

▲在高温下应用以促进反应；

▲涂装前必须清除零件表面的污染物；

▲涂层气体将覆盖零件的所有区域，包括螺纹、盲孔和内部表面；

▲涂层在反应过程中粘结到表面，与典型的PVD涂层相比，具有优越的附着力。

SilcoTek®公司CVD涂层的优势：

▲可广泛应用于各种基材，包括金属和金属合金、陶瓷，玻璃；

▲可喷涂精密和复杂材质表面，包括密封区域和内部表面；

▲能承受低温、高温和极端温度变化；

▲持久的涂层与基材结合意味着涂层在高应力环境中保持结合，即使基材表面弯曲也能适应。 

中国钝化技术

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