邀请函 | 英国光电日-非凡创新助力可持续未来 牛津仪器邀您参加中国国际光电博览会

第23届 中国国际光电博览会(CIOE) 将于9月18日在深圳国际会展中心举办。牛津仪器有幸受邀参加博览会中的英国光电日-非凡创新助力可持续未来的主题路演，牛津仪器纳米分析部的应用科学家王汉霄博士将带来主题为“助力可持续发展-牛津仪器的解决方案”的精彩报告，在此牛津仪器诚邀您光临现场与我们进行深入交流。

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会议简介

中国国际光电博览会(CIOE)作为极具规模及影响力的光电产业综合性展会，将汇集信息通信、光学、激光、红外、智能传感等领域的创新技术及光电综合解决方案，预计将迎来逾三千家参展商及近十万名专业观众。9月18日，英国国际贸易部将率领数家英国光电企业亮相CIOE，共同为您揭开这项前沿技术的神秘面纱，探讨光电技术创新如何助力可持续发展。

基于此，牛津仪器受邀参加博览会的英国光电日-非凡创新助力可持续未来的主题路演活动，期望与大家共同交流和进步。具体活动流程详见下图：

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参会相关事宜

一、会议时间

2021年9月18日 上午10:30-12:30

二、会议地点

广东省 深圳市 深圳国际会展中心（宝安新馆）5号馆二楼5C会议室

地址：深圳市宝安区福海街道展城路1号 二楼5C会议室

三、报名方式

请于9月13日前提交报名

如果您对会议细节有任何问题，请您与组委会成员联系。期待您的光临！

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牛津仪器会议报告信息

助力可持续发展 - 牛津仪器的解决方案

报告人：

牛津仪器纳米分析部

应用科学家 王汉霄

报告摘要：

随着可持续发展理念在现代社会发展中受到越来越多的关注和探索，科学创新和技术进步成为可持续发展型社会的强有力推手。牛津仪器作为一家面向科研和工业用户提供高技术信息、服务及解决方案的业内顶尖跨国企业，致力于推动科学技术向可持续发展方向迈进。

在半导体、新能源等细分领域，牛津仪器提供了表征材料中微纳结构的多种方案，例如：钙钛矿太阳能电池的显微结构分析、锂电池前驱体的异物检测和自动颗粒物分析、NAND闪存芯片的低电压高分辨率元素成像等。牛津仪器凭借自身的科研优势、出色的技术管理和服务，为广大客户提供业内一流的技术支持的同时不断助力中国社会的可持续发展进程。

报告时间：

9月18日 10:45 - 11:00

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牛津仪器解决方案

UltimMax系列能谱仪及EBSD探测器

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产品介绍：

UltimMax 系列能谱仪：有效晶体面积40-170mm2，元素检测从Be(4)开始，具有实时元素分析功能，方便快速寻找目标特征。适合从纳米到微米尺度特征分析，强大的Tru-Q算法，保证元素定性定量分析准确性。

CMOS EBSD探测器：全新CMOS EBSD，采集速度超过4500花样/秒。微弱光检测常用的光纤板技术实现高灵敏度。百万像素高分辨花样，对晶体结构准确标定，鉴定未知相，具有更高精度的取向测量。

刻蚀和沉积工艺解决方案

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产品名称：

Plasmapro100系列 ICP电感耦合刻蚀机，RIE刻蚀机，Ionfab离子束刻蚀沉积，PECVD等离子加强型介质沉积，ICPCVD电感耦合等离子加强型介质沉积以及ALD原子层沉积

产品介绍：

随着5G技术的不断发展和普及，频谱，容量以及传输速率这几大因素决定了如何有效承载整个5G网络。而作为第三代半导体衬底材料之一的磷化铟因其优于其他半导体材料的频率特性在5G, 以及超晶格红外探测等领域都得到了充分的应用。万物互联需要使用光纤实现超高速数据传输，而使用了磷化铟材料制造的激光器发出的光在光纤中可实现无损耗传输，从而保证的数据的高速和有效性。牛津仪器等离子技术作为有着60年半导体设备生产经验的英国厂商，在化合物半导体器件前段制造领域提供完善的刻蚀以及薄膜沉积的解决方案。  

牛津仪器等离子技术部的刻蚀设备在行业内第一家通过4寸磷化铟边发射激光器量产验证，其ICP以及RIE刻蚀设备如今被广泛使用与光通讯以及数据通讯中使用的半导体接收器的制造，比如周期光栅，光脊，平台以及介质层的刻蚀。除了作为有源器件的边发射激光器，其制造过程中的绝缘以及侧面保护也非常重要，所以牛津仪器等离子技术部还为用户度身定制了先进的介质薄膜沉积设备包括PECVD，ICPCVD，IBD以及ALD。 用户可以结合自身需求选择最适合的刻蚀以及沉积配套设备来实现高性能，高良率，高信赖性的器件生产。

Kymera系列光谱仪

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产品介绍：

Kymera系列通用性光栅光谱仪：采用专利的四光栅在轴塔轮设计，出厂预校准，可搭载多种不同探测器，光谱采集范围覆盖紫外-近红外波段。作为一款通用型光谱仪，可被用于多种光学分析手段的研究，比如表征材料分子特性的荧光、拉曼分析法；表征材料元素特性的原子发射谱线诊断；表征材料发光特性的荧光寿命检测等等实验。

400 678 0609

Info.CHINA@oxinst.com