2020-08-12 09:04:00, 领拓仪器 广州领拓仪器科技有限公司
徕卡EM TXP,一款集切割、磨抛、铣削与冲钻于一身的工具,可对样品目标精细定位,尤其擅长对肉眼难以观察的微小目标进行定位处理。对微电子的定位处理,用EM TXP快速精准。
以下介绍EM TXP针对一块PCB上一个长不足1mm的电阻的截面处理方法。下图为PCB板的一角在体式显微镜55X下观察的形貌,目标位置是红色椭圆圈内的电阻,接下来采用EM TXP切割、磨抛后用金相显微镜观察。
制样前处理
该PCB板易碎,为防止其受破坏,用标乐的树脂进行包埋并用粗砂纸磨至如下图形状:
徕卡EM TXP制样过程
采用的工具如下图所示:
左图用TXP的扁平夹具对样品进行夹持,右图1至5编号依次对应的工具为:金刚石锯片、30um磨片、9um磨片、2um磨片、0.05um抛光布。
01切割
采用金刚石锯片,切至靠近目标的位置。下图左为EM TXP的工作区示意,图右为切割过程示意。
02磨抛
①30um金刚石砂纸粗磨,磨至电阻即停止,如图红色圈内即目标电阻。
②9um金刚石砂纸粗磨,进取行程约为60um,制备示意如下左图,效果如下右图:
③2um金刚石砂纸细磨,进取行程约为18um,制备示意如下左图,效果如下右图:
④0.05um氧化铝抛光,抛至光滑即可,制备示意如下左图,效果如下右图:
TXP的整个处理过程,仅需20min。
制样结果观察
采用徕卡金相显微镜DM4M,对结果进行观测(如下图所示)。制备整体效果如下左图,可清楚看出左边的锡中存在一个大气孔;下右图则可清晰观测到合金层。
试验所用的其他设备与耗材
1、包埋(镶嵌)
采用冷镶嵌的方式,冷镶所用的耗材如下:
标乐型号为EpoKwickT M FC的环氧树脂及相应固化剂套装;
标乐型号为ReleaseAgen的脱模剂。
2、显微镜观察
采用徕卡金相显微镜DM4M,在明场的条件下进行拍摄,物镜倍数根据需要可选择5X、10X、20X、50X、100X, 目镜为10X。
徕卡DM4M金相显微镜
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