传统与先进制备方法结果对比 ——电子样品制备（二）

引言

在电子行业中，不断推广先进的制备方法。由于在传统的制备过程中，试样出现了不同程度的损伤和变形，影响试样的分析和测量的结果。为了提高和完善电子样品的制备表面的质量，针对以下的电子试样标乐研究出了相应的先进的试样制备方案，

典型案例：

•       BGA

案例

BGA

制备方法对比

a）传统的制备方案：

镶嵌材料

1.25”模具/Clarocit树脂

磨料表面

磨料

载荷LB

转速rpm

时间Mins

BuehlerMet  2

P180/180

手动

200-300

U.P.

BuehlerMet  2

P800/400

手动

200-300

NIL

BuehlerMet  2

P1200/600

手动

200-300

NIL

BuehlerMet  2

P2500/1200

手动

200-300

NIL

长绒毛的抛光布

1um MicroPolish 2 Al2O3  powder

手动

200-300

NIL

长绒毛的抛光布

0.5um MicroPolish 2 Al2O3抛光粉

手动

200-300

NIL

放大倍数50倍，镶嵌树脂是Clarocit。可以看到焊球两边都有很大的缝隙。

在1um（上）和3um（下）抛光时，造成典型的损伤。放大倍数200倍，抛光布为长绒毛的抛光布。

b）标乐的制备方案

镶嵌材料

1.25”模/VariKleer树脂/在压力锅内

磨料表面

磨料

载荷LB

转速rpm

时间Mins

DGD Color

35um

5

60/150

U.P.

TexMet P

15um金刚石悬浮液

5

60/150

3

VerduTex

9um金刚石悬浮液

5

60/150

3

VerduTex

3um金刚石悬浮液

5

60/150

3

ChemoMet

MasterPrep  0.05um Al2O3 抛光液

2

60/150

2

用VariKleer镶嵌的试样的SEM照片

放大倍数加大，可以看到两种图上焊球的边缘都很好保留下来，很完整。

以下四张是显微镜下所拍到的焊球的照片，在不同的倍数下。

ChemoMet MasterPrep (100x)

ChemoMet MasterPrep (200x)

ChemoMet MasterPrep (500x)

ChemoMe MasterPrep (1000x)   

下面两图为 IMS-SEM。

EcoMet™ 250/300 磨抛机系列

EcoMet 250/300 系列磨抛机和 AutoMet 250/300 系列动力头可确保材料分析员以各种手动或自动方式制备试样。 EcoMet Pro 控制系统升级为彩色触摸屏控制面板，利用它能控制 Z 轴方向的材料去除实施控制、创建和存储试样制备方法，以及设置抛光液自动配送系统。

设备特点：

独特的碗状设计便于安装 10in Z254mm[ 或 12in Z305mm]磨盘

Pro 型可无缝连接 Burst 抛光液配送系统 System..

明亮及高效节能的 LED 照明和便利的装卡锁扣能确保便捷地更换试样卡具

多功能喷嘴能在制备过程中提供有效的冷却和润滑，可伸缩的水管能确保快速清洁

高扭矩连续负载型电机通过静音式皮带传动确保磨盘以恒定的速度和扭矩运行

动力头转速可调节并且可提供单点力和中心力加载，动力头锁紧手柄可固定动力头，而动力头锁紧装置每次都能将试样卡具固定在正确的位置

磨盘冷却装置不仅能最大限度减少磨盘上积聚的热量，还能减少试样在高磨削压力下产生的变形

薄膜按键或触摸屏控制

手动操作或安装 AutoMet 250/300 动力头升级为半自动操作

结构牢固、照明充足、磨盘拆卸便捷

可伸缩水管便于冲洗设备

Pro 型具备可编程功能、Z 轴材料磨削功能，并且能完全集成 Burst 抛光液配送系统.

薄膜按键性能在手动和半自动模式下兼容 Burst 抛光液配送系统和基座模块

作为全球材料制备以及分析行业的领导者，标乐的使命是为用户提供创新稳健的全实验室解决方案，可靠的售后服务，以及支持提供在此行业80多年所累积而得的专业知识。

Strong Partner,  Reliable Solutions

领拓仪器为Buehler华南区代理商，