2019-08-01 17:03:26, 瑜良/哈维查尔斯 滨松光子学商贸(中国)有限公司
在半导体检测等诸多应用中,宽光谱光源是必备物件。比较常见的有氘灯、钨灯、氙灯等,但这些传统光源却存在一些固有的问题。
光谱测量范围上,它们都无法在200 nm-800 nm范围内保持较高的输出;寿命、亮度和稳定性上,传统光源需要在使用几百小时或更短时间就进行重新校准,使用1000-2000小时后还需更换灯泡。
而归根结底,这些都是其发光原理而带来的“先天性”缺陷。传统光源为电致发光,即通过光源灯室电极加高压激发灯室中气体放电,从而发光。这种使用电极耦合产生等离子体的方式,在亮度、稳定性、UV波长覆盖、寿命上都有很大的限制。
因此,从发光原理上进行变化,光源才有可能得到真正意义上的改善。今天我们将要聊到的“激光驱动白光光源(Laser Driven Light Source, LDLS)”正是完成了这一华丽转变。
LDLS光源
什么是激光驱动白光光源(LDLS)?
激光驱动白光光源(Laser Driven Light Source, LDLS)是由美国著名EUV光源公司Energetiq(现已被滨松集团收购)开发并拥有专利技术的产品,也曾获得被誉为光学界“奥斯卡”的“Prism Award”(棱镜奖)。
其整体由一个特殊设计的灯室,驱动激光光源,激光聚焦光路,光源输出光路,光源控制器等主要部分组成。和传统电致发光光源原理不同,其采用无电极结构,将外置1000 nm左右波长的激光汇聚到光源灯室中,加热氙等离子体至足够高温时便会发光。
LDLS有高效的光收集能力,亦可在深紫外至可见光以及更宽的光谱范围(170 nm ~ 2100 nm)内提供超高发光亮度,其在DUV的亮度是传统光源如氙灯的10倍以上。另外,整个光源的发光寿命相比较于传统光源也高出近一个数量级(>9000 h),且稳定性得到了极大的提高。
非常适合应用于宽光谱检测、OCD量测、薄膜测厚、overlay量测、in situ量测、反应腔监控、终点检测等半导体领域,以及光学传感器/组件/光纤检测、生物/材料科学等领域。为目前在使用传统弧光灯,但是苦于频繁更换、波长覆盖不足、亮度不够的用户,提供了一个新的选择。
长按识别下方二维码(或点文末击“阅读原文”),进入滨松技术文章网站阅读完整文章。我们将针对以上LDLS的几大突出性能,逐个进行更加详细的图文解析。而根据使用环境和输出功率的不同需求,可以选择不同性能的LDLS光源进行匹配。跳转至原文,还可了解到以下LDLS产品系列,以及12个常见问题解析。
· Energetiq LDLS光源光谱范围?
· LDLS光源的功率和亮度可以到多少?
· EQ-99XFC使用哪种光纤连接方式进行输出?
· EQ-99XFC可以输出多强的光功率?
· EQ-99XFC光谱辐射强度可以到什么范围?
· 对EQ-99X 和 EQ-99XFC来说,控制器和光源灯室之间的光纤长度可以选择吗?
· EQ-99XFC输出光纤长度可以选择吗?
· 什么是LDLS光源等离子体空间稳定性?
· LDLS光源寿命可以到多久?
· LDLS光源中的激发激光波长是多少?每种光源中的激发激光输出功率多少?
· EQ-99系列光源的灯室温度大概在什么范围?
· 什么时候使用LDLS光源需要充氮气,氮气的气压需要多少?
原文二维码在此,赶快识别跳转阅览吧~
↓↓↓↓↓↓↓↓↓
内容提供
编辑:滨小编
04-29 点击关注→
中关村论坛之高端仪器创新,天隆智造再获殊荣04-28
天隆产品说丨天隆方案为动物健康保驾护航04-27
世界兽医日 | 与他们共同守护动物健康04-27
新征程,新起点|科瑞恩特(北京)科技有限公司迁址公告及五一劳动节放假安排04-26 Create
最新|2024科瑞恩特携手瑞孚迪(原PE)共赴Create生命科学新征程04-26 Create
免费下载 | 新一代测序(NGS)零基础?看这篇就够了!04-26
对话培训班用户 洞察行业需求 | 纽迈如何通过“用户洞察”驱动“产品创新”?04-26 纽迈分析
【文献解读】东华大学:武培怡/孙胜童团队《Nat. Commun.》:自愈型纳米网络弹性材料增韧人工离子皮肤04-26 纽迈分析
东华大学武培怡/刘艳军团队新发现 →树木中反直觉的水传输过程 ...04-26 化学与材料科学
卓悦榜丨艾捷博雅荣膺“年度IVD与生命科学最佳企业”奖项04-26
建设国际一流医疗器械产业链、供应链体系!深圳与通用电气医疗签署战略协议04-26
一“触”即发,pick你中意的那个它!04-26 益世科生物
实验室“老友”记——助力胚胎培养的小能手!04-26
反相色谱多肽分离系统研究第四部分 表征流动相的选择性04-26 阎作伟 编译
世界知识产权日|以创新成果引领健康未来04-26
邀请函 | 揭秘多孔介质的秘密:TESCAN在InterPore202404-26 TESCAN中国
BCA蛋白定量小包装来啦~ 还有实用干货奉上04-26 赛默飞生命科学
【反射颜色测量】典型配置、硬件说明、软件操作04-26
“生命科学进校园”科普公益项目启新程,启迪青少年创新思维04-25