电镜制样课堂 | 镀膜仪靶材与镀膜厚度，到底该怎么选？

面对金（Au）、铂（Pt）、碳（C）等常用靶材，以及不同的镀膜厚度，我们该如何做出最优选择？

简单来说，镀膜主要为了解决以下三大问题：

为非导电样品提供导电通路，防止电子在样品表面积累，避免图像出现异常亮区、条纹或扭曲。

提高样品的热传导性，将电子束带来的热量迅速散开，保护对温度敏感的样品。

选择合适的靶材是镀膜成功的第一步，不同的靶材各有其独特的优势和适用场景。

金靶材是应用最广泛的靶材之一，尤其适用于常规的钨灯丝扫描电镜。

如果使用的是场发射扫描电镜（FE-SEM），追求纳米级别的成像质量，那么铂或铂钯合金是更佳选择。

碳镀膜主要应用于需要避免元素干扰的分析场景。

镀膜厚度并非越厚越好，合适的厚度需要在充分抑制电荷积累和避免掩盖样品细节之间找到平衡点。

图2：不同厚度的 Au 膜。由 Leica EM ACE200 制备

对于大多数形貌观察，5-10 nm 的膜厚是“黄金标准”。这个厚度足以提供良好的导电性，同时不会过度影响表面细节。对于颗粒细腻的铂靶，5 nm 左右即可；对于颗粒较大的金靶，可能需要 8-10 nm（图2）。

图3：厚度为 5 nm 的 Au 膜和 Pt 膜。由 Leica EM ACE200 制备

当使用 FE-SEM 进行高分辨率观察时，为了最大限度地保留纳米级细节，应选择 2-5 nm 的超薄镀膜。此时，配合使用铂或铂钯靶材效果更佳，（图3和图4）。

图4：不同厚度的 Pt-Pd 膜。由 Leica EM ACE600 制备

对于导电性极差、形貌复杂（如多孔、粉末状）或需长时间观察的样品，可考虑增加膜厚至 10-20 nm，以确保电荷能够被完全导走。

● Leica EM ACE200 是一款高品质台式镀膜仪，用来制备电子显微镜所需的均匀的金属导电膜或碳膜。

● 这款自动化设备既可以配置成溅射镀膜仪又可以配置成碳丝蒸发镀膜仪。或者，根据需要，Leica EM ACE200 可以在一台设备上装配可调换镀膜源，实现两种镀膜方式。

● Leica EM ACE600 是一款多功能型高真空镀膜系统，用于制备超薄，细颗粒的导电金属膜和碳膜，以适用于 FE-SEM 和 TEM 超高分辨率分析所需的镀膜要求。

● 这一款全自动台式镀膜仪，包含内置式无油真空系统，石英膜厚监控系统和马达驱动样品台。

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