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产品特点:
★ 使用温度控制系统(选配件)冷却 样品:硅晶片接合面
Normal milling Cooling Cooling temperature control (without cooling) (holder temperature -150℃) (holder temperature -20℃) Accelerating voltage 6kV Accelerating voltage 6kV Accelerating voltage 6kV
※ 常规加工由于热损伤造成粘合剂变形,出现了很大的间隙。 -150 ℃时,冷却过度,能观察到胶粘剂和硅晶片研磨面的接合面上出现了间隙,但通过温度控制冷却则没有间隙。
★ 合理利用间歇加工、冷却功能和温度控制冷却功能可支持各种样品的制备
★ 冷却的效果 样品:镀锌钢板
可提供500μm/h(8KV/2小时的平均值)的研磨速率。
Specimen: Galvanized iron steel
Normal milling (without cooling)Accelerating voltage 4kV
Cooled milling (holder temperature -120℃)Accelerating voltage 4kV
※ 通常加工(无冷却)时,铁和锌的接合面上能够观察到间隙,而冷却加工时则没有间隙
★ 进程监控功能
截面加工状态可通过CCD相机实时监控,倍率还可调整。
★ 防止充放电的喷镀功能
备有离子束溅射功能(选配项)可以喷涂颗粒感良好的薄涂层。zei适合于象EBSD等需要花样识别等情况。
★ 平面离子减薄样品架
以小角度的离子束低角度照射样品,达到清除表面污垢、平滑表面等效果。另外也非常适合于选择性蚀刻。
★ 截面样品制备单元
安装在平面离子减薄样品架上使用。该单元可用于在旋转样品的同时进行离子束加工。可以用来制备象多孔质材料、粉末、纤维等容易出现加工条纹的样品的截面。
产品规格:
离子加速电压
2 ~ 8 kV
离子束直径
500 um( FWHM)
研磨速率
500 um(两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um)
样品架冷却达到的温度
-120 ℃
样品冷却持续时间
8小时以上
制冷箱容量
约1升
承载样品的zei大尺寸
11mm(长) × 8mm(宽)× 3mm(厚)
样品台移动范围
X轴:±6mm、Y轴:±2.5mm
固定样品方法
夹式
样品加工摆角
±30°
加工观察用相机的倍率
约20~100倍(6.5寸显示器上)机械泵: 150 mm(宽) × 427 mm(长) × 230 mm(高)、约16 kg
空气隔离系统
转移舱
空气隔离法
将舱内设定成氩气气氛,盖上转移舱盖子,将样品封在舱里。
操作方法
触控屏、6.5寸显示器
使用气体
氩气(用质量流量控制器控制流量)
压力测试
潘宁真空计
主抽真空系统
涡轮分子泵
辅助抽真空系统
机械泵
尺寸、重量
主机:约670mm (宽) × 720mm(长) × 530mm(高)、约73kg机械泵:约150 mm (宽) × 430 mm(长) × 230 mm(高)、约16kg
选配件
大型旋转样品架(IB‐11550LSRH)、(IB‐11550LSRH) 基座样品架 (IB‐11560MBSH) 大型样品架(IB-11570LSH) 喷碳样品架(IB-12510CCH)
电源
单相100~120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA
接地线
独立地线(100 Ω以下)
氩气
使用压力:0.15±0.05 MPa(1.0 ~ 2.0 kg/cm²)纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备)金属配管连接口:JISB0203 RC1/4
室温
15~25 ℃
湿度
60%以下
IB-19520CCP 截面样品制备装置
IB-19520CCP在加工过程中利用液氮冷却,能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下,也能将样品快速冷却、恢复到室温,并且可以拆卸。配有传送机构,在隔离空气的环境下能完成从加工到观察的全过程。
日本电子IB-19520CCP截面样品制备装置 液氮消耗少的构造设计,IB-19520CCP
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