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此次推出的SU7000采用全新设计的探测器,使得对二次电子信号、背散射电子信号的检测以及分离能力大大提升。以前我们要根据不同的观察信号来调整样品与透镜之间的距离(工作距离/以下简称WD),以获得最佳的观察与分析条件,而SU7000通过新研发的样品仓以及检测器系统,可在同样的WD的条件下更高效地接收各种信号,缩短了样品观察和分析的时间,提高了测试效率。 而且,SU7000还配置了可同时6通道显示界面(前代机型只能同时显示4通道),进一步升级电镜控制系统,大幅提高了信号获取速度,由此实现了样品的高效率观察。它还标配超大样品仓,增设了附件接口,可适用于各种样品的观察与分析。
主要特点:
在相同的WD条件下,可同时实现二次电子,背散射电子观察与X射线能谱分析。
可同时实现6通道检测与显示;
成像分辨率最大可达10240x7680像素;
配置18个附件接口,支持低至300Pa的低真空模式观察;(选配)
日立热场发射扫描电镜SU7000,SU7000
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