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故障分析导航系统 (NASFA)(日立)

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该导航系统可以将CAD数据的布线和大规模集成电路的设计图形和FIB的观察图像相对应起来。当指定CAD系统中的坐标位置,样品台就会通过链接移动到相应位置,就可以获得相应位置的SIM图像。同时,CAD数据和SIM图像也可以重叠显示。因此,很容易检查到下层布线的状态,实质上提高了分析的效率,有利于进一步进行修理工作。

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