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FIB双束扫描电镜截面分析,运用离子束刻蚀或气体增强刻蚀,FIB技术可以精确地在器件的特定微区进行截面观测,形成高分辨的清晰图像,并且对所加工的材料没有限制,同时可以边刻蚀边利用SEM实时观察样品,截面分析是FIB最常见的应用。
产品描述:
新一代的赛默飞世尔科技 Helios 5 DualBeam 具有 Helios 5 产品系列业界领先的高性能成像和分析性能。它经过精心设计,可满足材料科学研究人员和工程师对最广泛的 FIB-SEM 使用需求,即使是最具挑战性的样品。
Helios 5 DualBeam 重新定义了高分辨率成像的标准:最高的材料对比度,最快、最简单、最精确的高质量样品制备,用于 S/TEM 成像和原子探针断层扫描(APT)以及最高质量的亚表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久经考验的性能基础上,新一代的 Helios 5 DualBeam 进行了改进优化,所有这些都旨在确保系统处于手动或自动工作流程的最佳运行状态。
产品参数:
半导体行业技术参数:
Helios 5 CX
Helios 5 HP
Helios 5 UX
Helios 5 HX
Helios 5 FX
样品制备与XHR扫描电镜成像
最终样品制备(TEM薄片,APT)
STEM亚纳米成像与样品制备
SEM
着陆电压
20ev-30kev
分辨率
0.6nm@15kev
1.0nm@1kev
0.6nm@2kev
0.7nm@1kev
1.0nm@500ev
STEM
分辨率@30kev
0.7nm
0.6nm
0.3nm
FIB制备过程
最大材料去除束流
65nA
100nA
最终最优抛光电压
2kv
500v
TEM样品制备
样品厚度
50nm
15nm
7nm
自动化
否
是
样品处理
行程
110×110
×65mm
150×150
×10mm
100×100
×20mm
100×100×
20mm+5轴(S)TEMCompustage
负载锁
手动
自动
自动+自动插入/提取STEM杆
材料科学行业技术参数:
离子光学
具有优越的高电流性能的Tomahawk HT 离子镜筒
具有优越的大电流和低电压性能的Phoenix离子镜筒
离子束电流范围
1 pA – 100 nA
1 pA – 65 nA
加速电圧
500 V – 30 kV
最大水平视场宽度
在光束重合点时为0.9 mm
在光束重合点时为0.7 mm
离子源寿命
1,000 hours
两级差动泵
飞行时间矫正
15孔光阑
电子光学
Elstar超高分辨率场发射镜筒
磁浸没物镜
高稳定性肖特基场发射枪提供稳定的高分辨率分析电流
电子束分辨率
最佳工作距离下
0.6 nm at 30 kV STEM
0.6 nm at 15 kV
0.7 nm at 1 kV
1.0 nm at 1 kV
1.0 nm at 500 V (ICD)
0.9 nm at 1 kV 减速模式*
在束流重合点
1.5 nm at 1 kV 减速模式* and DBS*
1.2 nm at 1 kV
电子束参数
电子束流范围
0.8 pA to 176 nA
0.8 pA to 100 nA
加速电压范围
200 V – 30 kV
350 V – 30 kV
20 eV – 30 keV
2.3 mm at 4 mm WD
探测器
Elstar 镜筒内 SE/BSE 探测器 (TLD-SE, TLD-BSE)
Elstar i镜筒内SE/BSE 探测器 (ICD)*
Elstar 镜筒内 BSE 探测器 (MD)*
样品室内Everhart-Thornley SE 探测器 (ETD)
红外相机
高性能离子转换和电子探测器(SE)*
样品室内样品导航彩色光学相机Nav-Cam Camera*
可伸缩式低电压、高衬度、分割式固态背散射探测器(DBS)*
可伸缩STEM 3+ 探测器*
电子束流测量
样品台和样品
样品台
灵活五轴电动
压电驱动XYR轴的高精度五轴电动工作台
XY
110 mm
150 mm
Z
65 mm
10 mm
R
360° (连续)
倾斜
-15° to +90°
-10° to +60°
最大样品高度
与优中心点间隔85mm
与优中心点间隔55mm
最大样品质量
样品台任意位置500 g
0° 倾斜时最大5kg
最大样品尺寸
直径110 mm可沿样品台旋转时
直径150 mm可沿样品台旋转时
优中心旋转和倾斜
特点与用途:
更易于使用:
Helios 5 是所有体验级别用户最容易使用的 DualBeam。操作员培训可以从几个月缩短到几天,系统设计可帮助所有操作员在各种高级应用程序上实现一致、可重复的结果。
提高了生产率:
Helios 5 和 AutoTEM 5 软件的先进自动化功能,增强的稳健性和稳定性允许无人值守甚至夜间操作,显着提高样品制备通量。
改善时间和结果:Helios 5 DualBeam 现在包括 FLASH,这是一种调整图像的新概念。对于传统的显微镜,每次操作员需要获取图像时,必须通过迭代对中仔细调整显微镜。使用 Helios 5 DualBeam,屏幕上的简单手势将激活 FLASH,将自动调整这些参数。自动调整可以显着提高通量、数据质量并简化高质量图像的采集。
赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam 双束扫描电镜 自动工作流程,Helios 5 DualBeam
赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam 双束扫描电镜 自动工作流程信息由北京欧波同光学技术有限公司为您提供,如您想了解更多关于赛默飞(原FEI)Helios 5 DualBeam 双束扫描电镜 自动工作流程报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。
Prisma E SEM-环境扫描钨灯丝电镜
赛默飞(原FEI)Axia ChemiSEM 智能型钨灯丝扫描电镜
Quattro-环境扫描场发射扫描电子显微镜
Apreo 2-超高分辨场发射扫描电子显微镜
锂离子电池因其清洁、能量密度高、循环性能好等优点广泛应用于我们的日常生活中。尤其是近年来, 新能源汽车、储能电站的快速发展, 锂离子电池的用量超乎想象,一台新能源汽车集成了几千个电池,达几百公斤,巨量的电池集中在一起,安全问题就尤为重要。近年来锂电池电动车、汽车和储能电站均发生过燃爆事故,因此,锂电池质量、安全等方面的研究越来越被人们重视,对锂电池的质检技术也提出了更高的要求,这涵盖了正负极材料、隔膜、铜箔、铝箔,甚至外包装材料。
锂电池是人类可再生清洁新能源发展的重要一环。我国已把“碳达峰“与”碳中和“纳入了政府重点工作计划。一方面,研究人员不断探索通过新材料、新技术增加锂离子电池的能量密度,构建新的能源存储和输出生态;另一方面,其安全性也需要在严格把控的基础上不断提高。
锂离子电池发展的核心难题是热稳定性以及锂枝晶引发的安全问题。在锂电池充电过程中锂离子还原形成的树枝状金属锂(也称为锂枝晶),锂枝晶在负极表面附着,生长到一定程度会刺穿隔膜,导致内部短路,引发起火。如果发生折断,会产生“死锂”现象,影响电池容量。目前商业化的隔膜基本是PP或PE,其玻璃化转变温度大约是 140~160℃,利用现有的涂覆技术,可提升隔膜耐热温度至 160~180℃,但超过玻璃化转变温度Tg之后,聚合物会变从玻璃态转变成流动态。进而导致正负极直接
近年来,随着智能移动手机的普遍应用,手机和电脑与人的关系更加紧密。无论是在地铁上、还是在饭桌上、低头族仿佛成了大多数人的诟病。而长期的低头工作,会导致颈椎疼痛难忍、背部不适、甚至还会出现头晕力乏等现象。 面对这些问题、很多人会选择用维生素片等保健药品来改善健康状态。那么,一款药片是否真的含有我们所需的各种营养成分,以及药片在微观下的分布如何?通过扫描电镜即可一探究竟。 &nb
析出相(precipitate)是由基体相中脱溶沉淀产生的新相。材料中以非连续状态分布于基体相中的,且其中不可能包围有其他相的相,统称为析出相。 析出相对于钢铁材料的性能调控十分重要。析出相对钢的强度、韧性、塑性、疲劳、磨损、腐蚀等物理化学性质都具有重要影响。合理地控制析出相,可以强化材料性能,但若处理不当,也会引起金属性能急剧下降,导致脆化、腐蚀等现象更易发生。  
目前锂离子电池已经深入生活中的各个场景,随处可见的手机、相机以及各类3C产品都已经从镍氢电池换成锂离子电池。这是因为锂离子电池的比容量、循环寿命都更为优秀,尤其是单节电池的放电电压可以达到4V以上。因此随着电池性能的进步,电动汽车性能日渐可靠也逐步占领了部分汽车市场。一台电动车所使用的动力电池数量可以高达7000枚,以目前商用电池的平均能量密度240Wh / kg来计算,一台拥有80kWh的电动车就需要至少333kg的电池,其中正极材料大致占电池重量的40
涤纶纤维材料自其问世以来,就凭借着独特的物理化学性能实现了广泛的应用,因此也成为合成纤维中发展快、产量高的一个种类。 用扫描电镜来观察纤维的表面结构,不仅可以根据纤维所具有的自然特征或横截面的形状来鉴别纤维的种类,更进一步可观察不同的纺丝工艺、纺纱工艺、染、织工艺以及纤维的化学变性、对纤维和织物所进行的物理、化学后整理工艺是如何改变纤维表面的微细结构,而纤维表面结构直接影
锂电池是人类可再生清洁新能源发展的重要一环。我国已把“碳达峰“与”碳中和“纳入了政府重点工作计划。一方面,研究人员不断探索通过新材料、新技术增加锂离子电池的能量密度,构建新的能源存储和输出生态;另一方面,其安全性也需要在严格把控的基础上不断提高。 今年,锂电池爆炸起火的事件屡见不鲜,除了热
随着我国新能源汽车产业的规模越来越大,对动力锂电池的需求,也逐步增加。电动汽车的主要能量源是动力电池,其发展和应用在很大程度上受动力电池性能影响。锂离子电池发展至今,凭借其高电压、高能量密度、良好的循环性能和绿色环保等优势成为在新能源应用中广泛的化学储能器件之一。图1:锂离子电池的组成示意图 锂离子电池是指以锂离子嵌入化合物为正极材料电池的总称,它主要依靠锂离子在正极和负极
微光汇聚成星河疫情面前,没有旁观者,只有参与者。自鞍山出现疫情以来,欧波同集团以实际行动调动团队将抗疫物资及时汇聚到抗疫前线,诠释着欧波同人同舟共济、同心抗疫的坚定信心。以实际行动践行社会责任担当,为助力打赢疫情防控阻击战贡献力量。4月18日上午,集团大巴满载欧波同人的爱心开往鞍山高新区管委会。该批防疫物资包括:医用口罩、N95口罩、医用防护面罩、医用护目镜、医用手套等。根据其捐赠意向和区域防疫工作需要,欧波同团队积极对接鞍山高新区管委会落实接收事宜。及时
散粉是各位小仙女们必不可少的美妆单品之一。散粉又称为定妆粉、蜜粉,在底妆后使用,可以有效吸收面部多余油脂,减少油光,有定妆,使妆感更华丽的作用。 粉质细腻程度是检验散粉好坏的重要标准之一,广告文案中常用:细如云烟,轻如薄纱,柔焦效果如同开启了磨皮滤镜,等字眼来表现粉质之细腻。 那么,粒径的数值越小,散粉的效果就会
11月19日下午,辽宁省鞍山市市长王忠昆、副市长孙平、市政府秘书长金峰、鞍山高新技术产业开发区党工委书记、管委会主任郑思南一行莅临欧波同集团总部,在欧波同集团副总经理张国滨的陪同下参观考察了欧波同总部基地及材料分析实验中心,并听取了关于人工智 能 AI 图像分析系统研发项目的介绍。 鞍山市市长参观调研 本次调研走访主要针对工业“四改”项目,欧波同集团作为“四改”项目中的“数字化改造”典型企业,备受鞍山市政府的关注。参观期间,张国滨副总经
随着经济的发展和人们生活水平的提高,纤维制品已经成为我们生产和生活的必需品,为了满足人们对纤维制品的高要求,各种纤维制品推陈出新,质地复杂多变,与此同时也给纤维的检验工作带来新的挑战。纤维制品的检测方法有多种,扫描电镜凭借其出色的特点在纤维微观形态分析方面发挥重要的作用,特别是扫描电镜-能谱仪的应用,更加适用于纤维的检验,被普遍应用于各个行业。 Axia ChemiSEM是新一代的扫描电
展现新面貌,起航新征程。2021年7月10日,欧波同集团第一届荣耀杯“新面貌*新征程”篮球赛在集团总部篮球馆内隆重举行,这是集团总部新址落成后举办的第一次企业文化活动,欧波同“瑞思拜”队VS朗铎“黑曼巴”队,为大家奉献了一场热血激昂、活力飞扬的精彩赛事。“新面貌*新征程”欧波同“瑞思拜”VS朗铎“黑曼巴”赛前总动员环节,欧波同集团董事长皮晓宇先生发表致辞,为参赛球员们加油鼓劲,希望大
中国石油钻井目前最深8588米,创亚洲陆上钻井最深记录。油套管的管串长度几乎等于钻井的深度,其管串一般采用螺纹连接方式,螺纹包括两部分:管端外螺纹(公扣端)和接箍内螺纹(母扣端),接箍是一段外径比管体稍大的短管,是螺纹连接最重要的工件,两个管端公扣端用一个接箍连接起来。目前国内一般对管端公扣端不进行表面处理,仅对接箍母扣端进行表面处理。螺纹拧接粘扣是最常见的损伤失效形式,大大缩短了油套管的使用寿命,增加了油井作业量并影响油井的生产,给油田带来巨大损失,因此
文末公布进入复赛晋级名单2021年5月29日,第六届“欧波同杯”全国失效分析大奖赛在“云端”正式拉开帷幕。本届比赛由欧波同(中国)有限公司与湖南理工学院共同主办;中国机械工程学会失效分析分会、中国机械工程学会可靠性工程分会、中国机械工程学会理化检验分会、中国机械工程学会材料分会协办;牛津仪器纳米分析部赞助,《理化检验·物理分册》支持。欧波同评审现场开幕式由中国体视学学会金相与显微分析分会副理事长、东北大学教授尹立新主持,欧波同(中国)集团董事长、中国体视学
2021年5月21日,欧波同材料显微分析技术交流研讨会(青岛站)在青岛市崂山区成功召开,来自山东地区冶金、机械、电子、石油、化工、新材料、新能源等领域的百余位材料显微分析专家和技术人员参加了本次会议,与欧波同应用技术专家进行面对面的深度交流。会议现场会议伊始,欧波同(中国)有限公司鲁吉黑事业部总监张夙先生介绍了欧波同产品线及公司业务结构。作为国内领先的实验室定制化场景式智能解决方案服务商,欧波同多年来产线持续升级,将一流实验仪器与创新智能分析系统推向国内市
近期,新疆长绒棉得到了广泛关注,长绒棉被誉为“棉中极品”。在现实生活中,大家购买衣服、床品时,往往都会选择纯棉面料;与其他面料相比,纯棉面料在保暖性、吸湿性、耐热性、卫生性等方面都有明显的优势。以往我们对构成全棉面料的原料,棉花的分类可能没有过多研究。今天,就让我们从电镜分析开始,一起了解长绒棉。制样过程:取少许长绒棉样品,尽量使其保持自然状态,置于真空镀膜机中使其表面镀上一层金,使其成为高真空状态下,样品表面能够导电,防止电荷堆积,影响观察效果。新疆长绒
2021年3月17日上午,北京市怀柔区党政代表团一行二十余人莅临欧波同上海材料分析研究中心,在欧波同集团董事长皮晓宇及集团高层领导的陪同下,参观考察欧波同材料分析中心,并对实验室的分析测试业务进行了详细的了解。 随后,双方举行了交流座谈会议,就高新企业在现今市场环境下的创新发展等议题展开深度探讨。分析研究中心考察代表团领导与欧波同集团董事长皮晓宇亲切交谈欧波同集团副总经理于小涛对仪器设备进行介绍研讨会现场盛况怀柔区党政
钢中白点是氢损伤缺陷之一。根据其形成条件、宏观和微观特征,白点又分为两种类型。第一种类型——白点(Flake):是由氢和应力引发的钢中内部裂纹缺陷,多在铸坯和热锻(轧)材中形成。在钢的横截面酸洗低倍试片上是呈锯齿状的细裂纹,在纵截面断口上宏观形貌是尺寸多在几毫米至几十毫米不等的轮廓分明的圆形或椭圆形银白色亮斑,故称其为白点。该类白点缺陷的金属的连续性已破坏,是一种不可逆缺陷。第二种类型——鱼眼(Fisheye):一般出现在一定形变速率的拉伸试样断口的内部,
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