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发布时间:2023年05月
JSM-IT800具备高分辨观察和高速元素面分析,能够满足客户的各种需求。该装置配备浸没式肖特基场发射电子枪、新一代电子光学控制系统Neo Engine、一体化EDS、易用的操作导航SEM Center、及可置换的物镜模块。
主要参数
JSM-IT800 SHLversion
JSM-IT800 HLversion
分辨率 (1 kV)
0.7nm
1.3nm
分辨率 (15 kV)
0.5nm
-
分辨率 (20 kV)
加速电压
0.01 - 30 kV
检测器
二次电子检测器(SED)
高位混合检测器(UHD)
高位电子检测器(UED)
电子枪
浸没式schott-plus场发射电子枪
入射电流
数 pA - 500 nA (30 kV)
数 pA - 300 nA (30 kV)
数 pA - 100 nA (5 kV)
物镜
超级混合物镜SHL
混合物镜HL
样品台
全对中马达驱动样品台
样品台行程
X: 70 mm, Y: 50 mm, Z: 2~41 mm,倾斜:-5~70o, 旋转:360o
EDS能谱仪
能量分辨率133eV以下, 检测元素B-U, 60mm2大面积检测器
高位电子检测器 (UED)
背散射电子检测器 (BED)
闪烁体背散射电子检测器(SBED)
多用途背散射电子检测器(VBED)
透射电子检测器(TED)
低真空 (含低真空背散射电子检测器LVBED)
低真空二次电子检测器 (LVSED)
电子背散射衍射 (EBSD)
波谱仪 (WDS)
软X射线分光器 (SXES)
探针电流检测器
样品台导航系统
样品室相机
操作桌
操作面板
LIVE-AI过滤器ー
SMILE VIEW™ Map
JSM-IT800 热场发射扫描电子显微镜,JSM-IT800
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