MEMS扫描镜开发套件

开发套件用户能够以任意刷新率显示各种矢量图形以及多帧动画。扫描仪可以点对点矢量扫描或共振和光栅化模式操作。该系统非常适合在各种表面和各种应用中进行投影，包括在特殊涂层的透明表面上进行投影。MEMS器件的超低功耗使该系统具有高度的便携性和小型性-该套件非常轻巧，与便携式计算机一起使用时可完全移动。

扫描两轴（倾斜镜）是许多行业中多种应用所需要的基本光束转向技术。Mirrorcle的MEMS反射镜技术提供了极具竞争力的解决方案，可满足其中的许多应用，因为它具有控制反射镜在两个正交轴上以任意角度或两个旋转自由度倾斜/倾斜的能力。例如，指向微镜的激光束可以在任一轴或两个轴上偏转到-12°到+ 12°的任何角度（规格因不同的设计而异），因此可以在24°视锥中的任何位置偏转。当使用广角镜头时，每个轴的视场都容易达到45°以上。

无万向节的两轴反射镜由静电致动器驱动。它们的旋转角度严格遵循平方律，即角度与施加电压的平方成比例。这种固有的非线性通过专用的偏置-差分驱动电路线性化。在机械上，这些反射镜的行为近似于具有30-80的高Q的二阶（质量弹簧）系统，因此需要适当调节的驱动信号才能获得良好的控制性能。在开环驱动中，对施加的电压波形进行平滑处理（输入整形和/或滤波）可防止器件谐振时出现过冲和机械振铃。该产品的软件和硬件驱动程序实施多种方法以提供线性化以及快速稳定的点对点光束控制。

一、标准发套件

三个无万向双轴MEMS镜

• 第 一面反射镜，直径为1.2mm，机械角度为+ -5°（A3I12.1-1200AL-TINY20.4-A / TP）

• 第二个反射镜，直径为2.0mm，机械角度为+ -5°（A7M20.1-2000AL-TINY20.4-A / TP）

• 第三个反射镜，直径为3.6mm，机械角度为+ -5.5°（A7B2.1-3600AL-TINY20.4-A / TP）

所有三个镜子都镀铝。每个反射镜器件都包装在连接器封装TINY20.4中，以便于搬运，安装和连接到USB MEMS控制器。
每个设备都覆盖有防反射涂层的窗口，在该窗口中可以选择防反射涂层。

二、半订制开发套件

可选择三个无万向节的双轴MEMS镜-类型，尺寸，涂层和封装

在标准开发套件中，预先选择并预先制造了三种反射镜尺寸和执行器，以减少成本和交货时间。但是，如果用户希望选择其他反射镜和执行器类型，尺寸，涂层和包装类型，则可以在此类别中使用。用户可以在各种可用的四象限执行器中进行选择，以适合其应用，并在所有可用的反射镜尺寸中进行选择。机械倾斜角度取决于所选的执行器类型。可提供铝和金涂层。

三、带有扫描模块的开发套件

1）激光跟踪和扫描模块演示器套件

激光跟踪和扫描模块演示套件是一个即插即用套件，带有基于MEMS-mirror的扫描模块，USB-MEMS控制器和光传感器。

该套件旨在通过基于Windows的简单应用程序演示Mirrorcle的MEMS镜和控制器的功能。用户可以以编程方式将激光束转向约32°x 32°或更大的视场。结合光电传感器，它提供了附加的跟踪和成像功能。

包含的SDK包：

基于c++的软件开发工具包

基于matlab的软件开发工具包

基于labview的软件开发工具包

带有扫描模块的开发套件主要应用：

• 激光打标

• 3D打印

• 动态照明

2）2D MEMS激光扫描模块

具有40°视场（FoV）的MEMS镜面扫描模块专为两轴准直激光束（或2D光学）扫描应用而设计。内置具有2600 Hz谐振频率和激光的MEMS反射镜的光学单元是针对需要微型，高速，长期稳定性，较低功耗和低成本解决方案的应用的特殊设计。即插即用的紧凑型设计适用于各种单模激光束转向应用。

2D MEMS激光扫描模块主要优势：

• MirrorcleTech无万向节MEMS设计用于高速两轴激光束转向

• 40°光学扫描角度（视野）

• 点对点（准静态）或谐振操作模式下的大角度正在上传...

• 坚固的紧凑型设计，可长期保持稳定

• 准备好小尺寸批量产品

• 405nm，450nm，520nm和638nm的标准激光波长（其他激光波长可根据要求提供）

• 定制MEMS执行器，可根据要求提供其他速度

• 根据要求定制设计的扫描模块

• 与任何Mirrorcle MEMS驱动器和MEMS控制器一起使用

四、LiDAR /成像MEMS开发套件

1）LiDAR /成像MEMS开发套件1（P / N：DK-026）

大直径，大角度的MEMS镜，通常用于同轴设计，其中照明/发射和感应/接收路径均通过MEMS反射镜。

（2pcs）两个反射镜，粘合后，直径4.6mm，机械角度为+ -5°（A8L2.2-4600AU-TINY48.4-α/ TP）。

（1pcs）一面已粘合的镜子，直径5.0毫米，机械角度为+ -5°（A8L2.2-5000AU-TINY48.4-？/ TP）。

2）LiDAR /成像MEMS开发套件2（P / N：DK-027）

大角度MEMS镜，很快，很耐用，通常仅在照明/发射路径或较短距离的同轴设计中用于双轴/双基地设计。

大直径，大角度的MEMS镜，通常用于同轴设计，其中照明/发射和感应/接收路径均通过MEMS反射镜。

（2pcs）两个集成了直径2.0mm的反射镜，机械角为+ -4.8°（A7M20.2-2000AL-TINY48.4-α/ TP）。

（2pcs）集成有两个直径为2.4mm的反射镜，机械角为+ -5°（A5M24.2-2400AL-TINY48.4-α/ TP）。

LiDAR / Imaging MEMS开发套件适用于OCT / Confocal成像系统，LiDAR，3D扫描等系统的开发人员，并包括MEMS Mirrors和支持的硬件和软件，以帮助开发人员将其集成到完整的原型和/或产品中。当与用户自己的ToF或FMCW接收器结合使用时，它们为实现完整的LiDAR参考设计/原型系统提供了非常短的途径。同样，生物医学成像（OCT和其他方式）系统的开发人员将发现它们非常适合。

五、Playzer可编程矢量图形激光投影仪

Playzer开发套件是一个使用Mirrorcle的矢量图形激光投影（VGLP）技术的演示和开发套件，包括Playzer模块，Windows软件应用程序以及C ++，Matlab和LabView的软件开发套件。Playzer模块PZ-02具有更快的MEMS反射镜，其速度是PZ-01的3倍。该套件为测试显示和其他可编程激光应用提供了即插即用，简单而有趣的环境。
该模块包括一个单波长激光源，可以选择以下颜色/波长：（R）代表638nm红色，（G）代表520nm绿色，（B）代表450nm蓝色，（V）代表405nm紫色。OEM版本不带带有用于扫描模块的简单光学面包板安装架的外壳，非OEM版本则带一个简单的塑料外壳。

• VGLP，以> = 50Hz的速率显示矢量内容
  

• R / G / B / V激光器，3-6mW，1位数字调制
  

• 约 30°x 30°视场
  

• <0.01°光束位置重复精度
  

• MEMS镜：A7M8.1-800AL
  

• USB接口和供电
  

• <800mW的功耗
  

80毫米x 55毫米x 30毫米表壳，重量<70克

高 级/ OEM用户：具有2个模拟输入和4个数字同步输出的主机连接器

高 级/ OEM用户：具有8个数字输出的数字输出连接器

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