大范围线性运动中空扫描台Carrier系列

2

外形尺寸

250 × 250 × 40 mm

3

主体材料

铝合金 / 不锈钢

4

运动行程

100 × 100 mm

5

速度范围

默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s

6

驱动力

2 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用最大负载

4 kg

9

最小步伐（闭环）

10 nm

10

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

11

位置传感器类型

光学位置传感器

12

位置传感器分辨率

2 nm （默认）

13

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：kapton漆包线，PEEK-D-Sub15

14

控制器规格

MC-Newton.S系列

2

外形尺寸

185 × 185 × 28 mm

3

主体材料

标准版，.HV，.UHV ，.NM  铝合金, 不锈钢/陶瓷：2 kg

4

运动行程

100 x 100 mm

5

速度范围

默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s

6

驱动力

2 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用最大负载

4 kg

9

最小步伐（闭环）

10 nm

10

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

11

位置传感器类型

光学位置传感器

12

位置传感器分辨率

2 nm

13

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK)

14

控制器规格

MC-Newton.S系列

2

外形尺寸

140 × 125 × 28 mm

3

主体材料

标准版，.HV，.UHV，.NM 铝合金/不锈钢：1.5 kg

4

运动行程

75 × 50 mm

5

速度范围

默认：0.1 μm/s ~ 10 mm/s；.HV & .UHV 版本：0.1 μm/s ~ 1 mm/s

6

驱动力

2 N

7

保持力

4 N

8

水平方向使用最大负载

4 kg

9

最小步伐（闭环）

10 nm

10

全行程俯仰/偏摆

0.3 mrad

11

位置传感器类型

光学位置传感器

12

位置传感器分辨率

2 nm

13

线缆 & 接头

默认：屏蔽线缆D-Sub15；.UHV版本：Kapton 漆包线，D-Sub15 (PEEK)

14

控制器规格

MC-Newton.S系列