法国PIEZOCONCEPT压电纳米平移台是以压电陶瓷为驱动，采用柔性铰链连接，选用比传统电容位移传感器性能更优的Si-HR 传感器，具有更高的稳定性和闭环精度。现可提供一维/二维/三维（X、Z、XY及XYZ）精密压电纳米位移平台、物镜扫描仪和快速偏摆台等产品，一维位移台行程可达1500um（MAX）。支持短周期、低费用的定制服务。
采用硅基高精度硅基位移传感器（Si-HR 传感器）闭环反馈，使平台拥有毫秒级响应速度，亚纳米级的分辨率，超低底噪（10-50pm）和超高线性度（0.02%）。配备16Bit高分辨率高速控制器，支持模拟/数字信号控制。被广泛应用于，超分辨显微、光镊系统、原子力显微镜、体容积成像、显微扫描、光路调整、纳米操控技术、ccd 图像处理、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等领域。 受到国内外高端工业领域和科研领域的一致好评。
| 主要特点 | 主要应用 |
高分辨率：0.005nm/urad（Max） 超大行程：1500um（Max） 超低底噪：10-50pm 超高速：谐振频率7000Hz（Max） 高性能传感器：Si-HR 传感器 柔性铰链：高可靠、长寿命 紧凑设计 可用于真空环境 | 超分辨显微 原子力显微镜 干涉测量 精密光学 光束稳定/扫描 光镊 纳米刻蚀 |
1）单轴压电平台
单轴压电平台是可以在单个维度上提供精确定位的产品，主要包含X轴压电平台、Z轴压电平台、物镜扫描台、快速反射镜。
① X轴压电平台
可提供各类大行程/高精度、中空/非中空类型的产品
型号 | AU-HS1 | AU-HS1H | AU-CX | AU-LF1 | AU-SLR |
产品图片 |
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行程(μm) | 10/30/50/70/100 | 30/50/70/100 | 100/200 | 100/200/300 | 300/500/800/1500 |
分辨率(nm) | 0.01/0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.03/0.05/0.07/0.1 | 0.1/0.2 | 0.1/0.2/0.3 | 0.3/0.5/0.8/1.5 |
重复精度（全行程）nm | 0.02/0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.06/0.1/0.14/0.2 | 0.2/0.4 | 0.2/0.4/0.6 | 0.6/1/1.6/3 |
本底噪声nm | 0.001/0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.003/0.005/0.007/0.01 | 0.01/0.02 | 0.01/0.02/0.03 | 0.03/0.05/0.08/0.15 |
| 传感器 | 硅传感器闭环反馈 | ||||
| 产品特点 | 超高速，高精度 | 高精度大通孔可用于倒置显微镜 | 超高性价比 | 大通孔可用于生物样品扫描 | 超大行程 |
②Z轴压电平台
型号 | AU-Z-stage | AU-C.Z | Z-insert | Z-insert-K-TYPE | LT-Z |
产品图片 |
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行程(μm) | 5/10/25/50 | 100/200 | 100/200/300/500 | 100/200/300 | 100/200/300/500 |
分辨率(nm) | 0.005/0.01/0.025/0.05 | 0.1/0.2 | 0.1/0.2/0.3/0.5 | 0.1/0.2/0.3 | 0.1/0.2/0.3/0.5 |
重复精度(nm) | 0.01/0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.4 |
压电亚纳米/纳米平移台（压电直推型，0-1500μm行程）,0-1500μm
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