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| 型号 | 品牌 | PIPES指数 |
|---|---|---|
| customized-1 | PVA TePla | 6.2 |
| GIGAbatch 360/380P | PVA TePla | 6.2 |
| SC3080A | 北方华创 | 5 |
用于集成电路、先进封装、新兴应用等领域12英寸后段清洗工艺。稳定的传输系统保障高效工艺产出;精密的腔室设计支持高效的化学品回收效率;可配备伯努利卡盘,有效保护晶圆正面。
| 产地与供应商:国产 |