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HORIC L200 LPCVD系统,主要用于半导体产线8英寸及以下晶圆淀积SiN、POLY、SiO₂等薄膜,设备工艺性能好、产能大、可靠性高,可满足半导体领域的多种产线需求。
| 产地与供应商:国产 |