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落地式原子层沉积ALD/分子层沉积MLD系统-PRIME™系列
参考价：面议
品牌与制造商：Arradiance 产地：美国 型号：PRIME™系列 官方样本下载：来电或留言获取样本
数据更新时间：2026-10-12
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| 型号 | 品牌 | PIPES指数 |
|---|---|---|
| PRIME™系列沉积系统 | Arradiance | 7.9 |
| PROMETHEUS | ForgeNano | 7.6 |
| PICOSUN原子层沉积系统ALD R-200高级版 | Picosun | 7.5 |
产品官方概述
PRIME™系列沉积系统是美国Arradiance公司专为需要突破台式设备局限的实验室与产线团队设计的新一代落地式ALD/MLD系统。无论您是需要提升产能还是处理更大尺寸的三维衬底，PRIME™均可支持从研发到量产的规模化应用。
PRIME™系列系列可兼容无机与有机前驱体（包含极低蒸气压材料），支持热功能以及具备等离子体增强功能的分子层沉积（MLD）与原子层沉积（ALD）工艺。PRIME™依托GEMStar XT™平台的成熟技术与高可靠性，配备了更大腔体（容积约为 GEMStar XT系列的4倍）。
以下内容综合自Arradiance官方技术规格及公开资料信息
官方技术参数
| 产地与供应商：进口 | 衬底尺寸：单次最多20片200mm晶圆，或210×210mm 面板 | 工艺温度：最高 300 ℃±1 ℃（可选450℃配置） |
| 前驱体数：GEMStar 系列可选4、6路； PRIME 系列最高可选15路 | 前驱体管路温度：ALD-可根据需求配置最多15个前驱体源、1个针对低挥发性材料的有机前驱体鼓泡源 | 生长模式：热 ALD、等离子增强 ALD（PE-ALD）、分子层沉积（MLD） |
| 控制系统：层级化、直观的抬头式图形用户界面（GUI） | 重量：＜68kg | 尺寸(W x H x D)：落地式机型：94cm ×166cm ×190cm（宽×长×高） |
| 均匀性：高 |
产品介绍
PRIME™系列沉积系统是美国Arradiance公司专为需要突破台式设备局限的实验室与产线团队设计的新一代落地式ALD/MLD系统。无论您是需要提升产能还是处理更大尺寸的三维衬底，PRIME™均可支持从研发到量产的规模化应用。
PRIME™系列系列可兼容无机与有机前驱体（包含极低蒸气压材料），支持热功能以及具备等离子体增强功能的分子层沉积（MLD）与原子层沉积（ALD）工艺。PRIME™依托GEMStar XT™平台的成熟技术与高可靠性，配备了更大腔体（容积约为 GEMStar XT系列的4倍）；支持更多前驱体；全风冷设计，无需冷却水，可满足科研与生产用户多样化的需求。
Arradiance公司 PRIME™系列包含两个产品型号：VERDE和PLATINUM
PRIME™ VERDE | PRIME™ PLATINUM | |
一款商业化热模式与等离子体增强模式的分子层沉积（MLD）设备
| 依托 GEMStar XT 系列久经市场验证、性能优异的成熟技术，采用高度可配置的模块化平台设计开发的ALD设备
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应用 |
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特点 |
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GEMStar 系列与 PRIME 系列对比
GEMStar系列 | PRIME系列 | |
工艺类型 | 热 ALD、等离子增强 ALD（PE-ALD）、分子层沉积（MLD）； XT-P 机型搭载300W风冷 ICP 实现等离子体；XT-R 机型可升级 PE-ALD | 热 ALD、等离子增强 ALD（PE-ALD）、分子层沉积（MLD）； 支持流通式与暴露式工艺模式。VERDE 主打 MLD 工艺，PLATINUM 主打多前驱体源 ALD 工艺 |
设备占地面积 | 台式机型：82cm ×61cm ×28cm（宽×长×高），重量＜68kg；可接入手套箱 | 落地式机型：94cm ×166cm ×190cm（宽×长×高） |
反应腔温度 | 最高 300 ℃±1 ℃（可选450℃配置） | 最高 300 ℃±1 ℃（可选450℃配置） |
衬底处理能力 | 最大支持200mm 晶圆（可选150/100mm）；可处理高深宽比粉末与三维构件；配备批量载片盒 | 二维晶圆、三维颗粒/构件；每次最多20片200mm晶圆，或210×210mm 面板 |
腔体容量 | 台式反应腔，支持单片/批量样品 | 腔体容积约为 GEMStar XT 的4倍 |
前驱体管路总成 |
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冷却方式 | 风冷（含等离子体头） | 全风冷，无需冷却水 |
衍生型号 | XT-S/D、XT-R、XT-P、定制版 | VERDE、PLATINUM、定制版 |
典型用户 | 高校、企业研发实验室 | 研发试验、工业化生产 |
沉积工艺说明
工艺 | Thermal ALD | PEALD | MLD |
原理说明 | 交替脉冲通入两种前驱体气体；每种前驱体仅与上一步反应后留在样品表面的基团发生反应，一次完成一个自限制循环。可制备氧化物、氮化物、金属等无机薄膜。 | 在热ALD 基础上引入等离子体活化反应，可降低工艺温度，获得更高致密度薄膜。能够制备热 ALD 难以实现的氮化物与金属薄膜。 | ALD 的有机体系版本。利用双官能团有机分子，通过单次自限制反应，制备有机薄膜以及有机 - 无机杂化薄膜。 |
适用场景 | 原子级厚度精准控制，对深沟槽、微孔、三维形貌实现保形镀膜；适用于半导体、电池、催化剂、光学器件。 | 低温条件下拓展更多材料体系；GEMStar XT-P、PRIME 系列机型支持该工艺。 | 柔性功能涂层，用于电池电极防护、可调薄膜；MLD 与 ALD 联用可制备新型功能纳米材料。 |
发表文章
期刊 | IF | 文章 | 年份 |
Advanced Materials | 26 | A Colloidal Quantum Dot Thermistor and Bolometer | 2026 |
Advanced Materials | 26 | Transparent Perovskite Light-Emitting Diodes with Conductive Oxide Top Electrodes | 2026 |
ACS Applied Materials & Interfaces | 8 | Reduced Lattice Thermal Conductivity in Thermoelectric α-MgAgSb via Sb2Te3 Powder Atomic Layer Deposition | 2026 |
Advanced Electronics Materials | 5 | Inkjet-Printed Metal Halide Perovskite Thin-Film Field-Effect Transistors | 2026 |
Nature Energy | 67 | Close-space sublimation as a versatile deposition process for efficient perovskite silicon tandem solar cells | 2026 |
nature communications | 15 | Ultralow trap density FAPbBr3 perovskite films for efficient light-emitting diodes and amplified spontaneous emission | 2025 |
Langmuir | 3 | Effect of Pore Structure of Inverse Opals on Wetting Transitions and Liquid Imbibition | 2025 |
Advanced Materials | 26 | Self-Assembled Inorganic Nanomembrane Tubes: Rolled-Up Piezoelectrics for Microacoustic Wave-Based Actuators and Sensors | 2025 |
Advanced Functional Materials | 19 | Laser-Based Sculpturing of Embedded Ultrathin Metal-Oxide Nanopores for Enhanced Biomolecular Sensing | 2025 |
Solar RRL | 4 | In Situ Photocorrosion Assessment of Protected Hematite Photoanodes During Accelerated Stress Tests | 2025 |
Small Science | 8 | Efficient Perovskite/Silicon Tandem Solar Cells Using Hybrid Two-Step Inkjet Printing with Edge Isolation Precision | 2025 |
Nature | 48 | Toughened self-assembled monolayers for durable perovskite solar cells | 2025 |
Advanced Materials | 26 | High Light Utilization and Color Rendering in Vacuum-Deposited Semitransparent Perovskite Solar Cells | 2025 |
Advanced Materials Interfaces | 4 | Ultrafast Dynamics of Complete Sb2S3 Solar Cells Unveiled via a Bifacial Architecture | 2025 |
ACS Applied Energy Materials | 5 | Thermally Stable Lead-free Tin Halide Perovskite Solar Cells Prepared from a Dimethyl Sulfoxide Free Perovskite Precursor Ink | 2025 |
nature nanotechnology | 38.1 | Tailoring nanoscale interfaces for perovskite–perovskite–silicon triple-junction solar cells | 2025 |
ACS Applied Materials & Interfaces | 10.4 | Enhanced ALD Nucleation on Polymeric Separator for Improved Li–S Batteries | 2025 |
ees batteries | Equal resistance single and bilayer films decouple role of solid electrolyte interphase from lithium morphology in batteries | 2025 | |
Advanced Materials | 27.4 | Role of Precursor Miscibility in Area-Selective Atomic Layer Deposition | 2025 |
Advanced Functional Materials | Room Temperature Pulsed Laser Deposition of Aluminum Zinc Oxide (AZO): Enabling Scalable Indium-Free Transparent Conductive Oxides | 2025 | |
Nature Energy | 49.7 | The impact of interfacial quality and nanoscale performance disorder on the stability of alloyed perovskite solar cells | 2024 |
Nature Materials | 26 | Scalable integration of hybrid high-κ dielectric materials on two-dimensional semiconductors | 2023 |
nature communications | 15 | Unraveling bilayer interfacial features and their effects in polar polymer nanocomposites | 2023 |
Advanced Energy Mterials | 24.4 | Ink Design Enabling Slot-Die Coated Perovskite Solar Cells with >22% Power Conversion Efficiency, Micro-Modules, and 1 Year of Outdoor Performance Evaluation | 2023 |
Nature Electronics | 40 | Ecoresorbable and bioresorbable microelectromechanical systems | 2022 |
nature communications | 14.7 | Electrical resistance of the current collector controls lithium morphology | 2022 |
Advanced Energy Mterials | 24.4 | Revealing and Elucidating ALD-Derived Control of Lithium Plating Microstructure | 2020 |
Nature | 48 | Atomically dispersed iron hydroxide anchored on Pt for preferential oxidation of CO in H2 | 2019 |
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