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PIONEER 电子束光刻系统是一款集成了电子束光刻(EBL)和扫描电子显微镜(SEM)功能的创新性仪器,专为高校和科研机构设计。它采用先进的热场发射技术、多种检测器以及高精度激光干涉仪控制台,提供“写入与观察"配置,具备模块化设计和高性价比的特点。该系统适用于需要进行纳米结构制造及分析的用户,尤其适合材料学和生命科学研究领域。
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