RAITH EBPG 超高性能电子束光刻系统

Name: RAITH EBPG 超高性能电子束光刻系统
Brand: RAITH
SKU: EBPG

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参考价：面议

品牌与制造商：RAITH 产地：德国型号：EBPG 官方样本下载：来电或留言获取样本 数据更新时间：2026-09-30

华兆科技（广州）有限公司

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产品官方概述

EBPG 超高性能电子束光刻系统以高精度实现稳定可重复的工艺结果，确保在各类基底上获得高器件良率，是该电子束光刻系统的核心设计准则。在此基础上，EBPG 极其适用于量产工况、工业研发场景以及顶尖科研机构，可满足各类对电子束光刻（EBL）性能有着严苛且无妥协要求的专业应用需求。

以下内容综合自RAITH官方技术规格及公开资料信息

官方技术参数

产地与供应商：进口

产品介绍

EBPG 超高性能电子束光刻系统主要特征

・5 纳米以下高分辨率光刻工艺

・晶圆及多样品自动曝光功能

・曝光参数自动切换与校准，可在高吞吐量模式（最高束流 350 纳安）与高分辨率模式之间无缝稳定切换

・全球顶尖套刻精度

・超高速工件台，稳定建立时间极短

・双工位 / 十工位自动气锁装置

・快速无差错样品对准

・先进图形裂解模式，实现低线边缘粗糙度与最高图形保真度

・高效数据处理能力

・简易易学的图形用户界面与可脚本化终端界面

・支持多权限分级的安全多用户运行环境

RAITH EBPG 超高性能电子束光刻系统信息由华兆科技（广州）有限公司为您提供，如您想了解更多关于RAITH EBPG 超高性能电子束光刻系统报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

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